د سیمیکمډکټر لیتوګرافي څخه تر ای وي بیټرۍ تفتیش پورې: د دقیق هوایی بیرنگونو مهم رول

د الټرا دقیق حرکت کنټرول په نړۍ کې، یو جز شتون لري چې یو څه کوي چې تقریبا ناممکن ښکاري: یو دقیق سټیج چې د هوا په فلم کې تیریږي چې یوازې څو مایکرون ضخامت لري، په اصل کې د صفر رګ سره حرکت کوي. دا ساینسي افسانه نه ده. دا د ګرانایټ هوا بیرنگ دی — او دا د سیمیکمډکټر لیتوګرافي، ویفر تفتیش، د EV بیټرۍ تفتیش، او په حقیقت کې د هر بل غوښتنلیک تر شا فعاله ټیکنالوژي ده چې د نانومیټر کچې موقعیت ته اړتیا لري.

د هوا بیرینګ څه شی دی؟

د هوا بار د فشار لرونکي هوا د سوري یا سوري شوي سطحې له لارې په زور سره کار کوي، د دوو سطحو ترمنځ د هوا یو پتلی، دوامداره کشن رامینځته کوي چې بل ډول به په فزیکي تماس کې وي. بار - یو سټیج، یو سپینډل، یو حرکت کوونکی میز - په لفظي ډول په دې هوایی فلم کې تیریږي، معمولا د ډیزاین او بار اړتیاو پورې اړه لري، د 5 څخه تر 20 مایکرون پورې ضخامت.

ځکه چې د حرکت او ثابت سطحو ترمنځ فزیکي اړیکه نشته، هیڅ میخانیکي رګونه نشته، د لرګیو ښوییدو چلند نشته، او په اصل کې هیڅ اغوستل نشته. دا په بنسټیز ډول د یو څخه توپیر لريدودیز میخانیکي بیرنگ، کوم چې - مهمه نده چې څومره ښه ماشین شوی وي - تل د خپل عملیاتي ژوند په اوږدو کې یو څه رګونه، مایکروسکوپي سطحې بې نظمۍ، او تدریجي اغوستلو سره مخ وي.

ولې ګرانایټ د هوایی بیرنگونو لپاره یوازینۍ انتخاب دی

د هوا بیرنگونه په تیوریکي ډول په مختلفو فلیټ، سختو موادو جوړ کیدی شي، مګر ګرانایټ د لوړ دقیق غوښتنلیکونو کې د سټیشنري بیرنگ سطح لپاره معیاري انتخاب ګرځیدلی.

د وخت په تیریدو سره د فلیټ کیدو ثبات. ځکه چې ګرانایټ د ماشین شوي فلز په پرتله خورا ټیټ داخلي فشار لري — فلز د کاسټ کولو او ماشین کولو پروسې څخه پاتې فشار ساتي، کوم چې کولی شي د میاشتو یا کلونو په اوږدو کې تدریجي، کوچني ابعادي بدلونونو لامل شي — د ګرانایټ بیرینګ سطح د فلزي معادل په پرتله د خپل فلیټ کیدو مشخصات ډیر اوږد ساتي. د هوایی بیرینګ لپاره، چیرې چې د فعالیت ټوله برخه د یو ثابت، کنټرول شوي تشې ساتلو پورې اړه لري، دا ثبات خورا مهم دی.

حرارتي ثبات. د هوا د بارولو تشه مایکروسکوپي ده - معمولا 5-20 مایکرون. د لارښود ریل حرارتي پراخول دا تشه بدلوي، د بارولو فعالیت بدلوي او د موقعیت غلطۍ معرفي کوي. د ګرانایټ CTE تقریبا د فولادو نیمایي او د المونیم دریمه برخه ده. دا ډاډ ورکوي چې د نانومیټر کچې موقعیت دقت د 24 ساعتونو عملیاتي دورې په اوږدو کې ریښتیا ساتي.

ډمپینګ او وایبریشن جلا کول. ګرانایټ د فولادو په پرتله لس ځله ډیر طبیعي ډمپینګ ظرفیت لري. کله چې د هوا فلم د ویسکوس ډمپینګ سره یوځای شي، سیسټم د "دوه ګونی ډمپینګ" اغیز رامینځته کوي چې حساس پیلوډونه د فرش وایبریشنونو او موټرو شور څخه جلا کوي. دا د الیکترون بیم ستنو او انټرفیرومیټرونو په څیر غوښتنلیکونو لپاره خورا مهم دی، چیرې چې وایبریشن د عکس ریزولوشن خرابوي.

غیر مقناطیسي، په بریښنایی توګه غیر فعال. په نیمه سیمیکمډکټر او بریښنایی تولیداتو چاپیریال کې، د حساسو پروسو ته نږدې د مقناطیسي ساحو او بریښنایی چالکتیا څخه مخنیوی اکثرا یوه سخته اړتیا وي. ګرانایټ دا پرته له کوم اضافي درملنې څخه پوره کوي.

د "دوه ځله لوند کولو" اغیز

دلته هغه څه دي چې د ګرانایټ-هوا بیرینګ ترکیب په ځانګړي ډول اغیزمن کوي. ګرانایټ پخپله استثنایی ډمپینګ چمتو کوي — د کاسټ اوسپنې په پرتله د ماشین چیټر تر 10 ځله پورې کموي. د هوا فلم اضافي ویسکوس ډمپینګ چمتو کوي، د لوړ فریکونسۍ وایبریشنونه نرموي. په ګډه، دوی هغه څه رامینځته کوي چې انجینران یې "دوه ځله ډمپینګ" اغیز بولي.

دا پدې مانا ده چې د ګرانایټ هوا لرونکي سټیج یوازې دقیق نه دی؛ دا خاموش دی. سټیج په اسانۍ سره حرکت کوي، پرته له هغه مایکروسکوپي ټکان څخه چې میخانیکي بیرنگونه ځوروي. دا په چټکۍ سره تنظیم کیږي، پرته له هغه زنګ وهلو څخه چې اندازه کول یې ځنډولی شي. او دا د کلونو په اوږدو کې خپل دقت ساتي، پرته له تدریجي اغوستلو څخه چې میخانیکي بیرنگ فعالیت خرابوي.

چیرته چې د ګرانایټ هوایی بیرنگونه په حقیقت کې کارول کیږي

د غوښتنلیکونو لیست د عصري تولید او تفتیش د لوړ دقت کونجونو د سفر په څیر لوستل کیږي:

د سیمیکمډکټر لیتوګرافي او ویفر معاینه. د فرعي نانومیټر موقعیت تکرار وړتیا ته اړتیا ده ترڅو د ویفر په اوږدو کې ځانګړتیاوې په سمه توګه تنظیم شي. د ګرانایټ هوایی بیرنگونه بې رګونه، غیر تماس حرکت چمتو کوي چې د راتلونکي نسل چپ تولید لپاره اړین دقیقیت فعالوي.

د همغږۍ اندازه کولو ماشینونه (CMMs). د دقیق ګرانایټ لارښودونو او هوایی بیرنگونو ترکیب د CMMs لپاره د سرو زرو معیار دی، چیرې چې د سټیج وایبریشن د اندازه کولو ریزولوشن خرابوي. د هوایی بیرنگ د رګونو او سټیک سلیپ نشتوالی د نانومیټر زیاتوالي کې موقعیت ته اجازه ورکوي.

د نظري او لیزر پر بنسټ د اندازه کولو سیسټمونه. د اندازه کولو هر سیسټم چې په انټرفیرومیټري یا نظري امیجنگ تکیه کوي د حرکت مرحلې ته اړتیا لري چې د وایبریشن یا موقعیت تېروتنه نه معرفي کوي. د ګرانایټ هوایی بیرنگونه د دې سختو غوښتنلیکونو لپاره اړین ثبات چمتو کوي.

د EV بیټرۍ معاینه. لکه څنګه چې د بریښنایی موټرو د بیټرۍ تولید زیاتیږي، د لوړ سرعت، لوړ دقیق تفتیش سیسټمونو غوښتنه په ډراماتیک ډول لوړه شوې ده. د ګرانایټ هوایی بیرنگ مرحلې د بیټرۍ حجرو ابعادو، الکترود سمون، او نورو مهمو پیرامیټرو معاینه کولو لپاره اړین سرعت او دقت چمتو کوي.

د PCB برمه کول او روټینګ. د PCB لوړ سرعت برمه کول د لږترلږه تنظیم کولو وخت سره ګړندي او دقیق موقعیت ته اړتیا لري. د هوا بیرنگونه د لوړ تروپټ تولید لپاره اړین ګړندي ګام او تنظیم حرکت فعالوي.

دوامدار ګرانایټ بلاک

هغه څه چې ZHHIMG® جلا کوي

د ګرانایټ د هوا د بیرنگ ټول اجزا یو شان نه دي جوړ شوي. د ګرانایټ کیفیت، د لیپ کولو دقت، او د کسبګرو مهارت دا ټول ټاکي چې ایا د هوا بیرنگ د ځانګړتیاوو سره سم فعالیت کوي.

په ZHHIMG® کې، زموږ ZHHIMG® تور ګرانایټ د ≈3100 kg/m³ کثافت ترلاسه کوي — د ډیری اروپایی او امریکایی تور ګرانایټونو څخه لوړ — غوره ثبات او د اغوستلو مقاومت ډاډمن کوي. زموږ ماسټر ګرینډرز، د 30 کلونو څخه ډیر د لاسي لپینګ تجربې سره، د هوا بیرنگ غوښتنلیکونو لپاره اړین نانومیټر کچې فلیټنس ترلاسه کوي. زموږ د 10,000 مربع متره ثابت تودوخې ورکشاپ، چې د 1000 ملي میتر ضخامت الټرا سخت کانکریټ بنسټ باندې د 2000 ملي میتر ژورو انټي وایبریشن خندقونو سره جوړ شوی، د دې دقیقیت اجزاو تولید لپاره اړین باثباته چاپیریال چمتو کوي.

او د کیفیت په اړه زموږ ژمنتیا - چې زموږ د کیفیت په پالیسۍ کې لنډیز شوې، "دقت سوداګري ډیره سخته نه شي کیدی" - ډاډ ترلاسه کوي چې زموږ له تاسیساتو څخه د وتلو هر ګرانایټ هوایی برخه خورا سخت نړیوال معیارونه پوره کوي.

که تاسو د سیمیکمډکټر لیتوګرافي تجهیزاتو راتلونکی نسل جوړوئ، د لوړ دقیق CMM، یا د EV بیټرۍ تفتیش سیسټم، د دقیق ګرانایټ او هوا بیرینګ ټیکنالوژۍ ترکیب د نانومیټر کچې حرکت کنټرول لپاره بنسټ چمتو کوي. او په ZHHIMG® کې، موږ د لسیزو راهیسې دا ترکیب ماسټر کوو.


د پوسټ وخت: جولای-۰۸-۲۰۲۶