د میخانیکي انجینرۍ په ژبه کې، "بې رقابتي" یو تیوریکي مثال دی - هغه څه چې د درسي کتابونو د ستونزو بیانونو کې ښکاري مګر هیڅکله په فزیکي نړۍ کې په بشپړ ډول نه ترلاسه کیږي. مګر د دقیق موقعیت مرحلو کې چې د لیتوګرافي ماشینونو، مستقیم لیکلو لیزر سیسټمونو، د لوړ سرعت PCB برمه کولو تجهیزاتو، او د نانومیټر پیمانه تفتیش پلیټ فارمونو کې سیلیکون ویفرونه حرکت کوي، د حرکت عناصر د پام وړ دې مثال ته نږدې راځي. دوی دا د هوا بیرنگ په نوم ټیکنالوژۍ له لارې کوي، او هغه سطحه چې د هوا هغه پتلی فلم پرې ګرځي تقریبا تل دقیق ګرانایټ وي.
د هوا د بارولو ټیکنالوژۍ پوهیدل - د هغې فزیک، اړتیاوې، او محدودیتونه - د دې پوهیدلو څخه جلا کیدونکی دی چې ولې ګرانایټ د هوا د بارولو لارښود سطحو لپاره د انتخاب مواد دی. دواړه ټیکنالوژي سمبیوټیک دي: د هوا بیرنگونه د ګرانایټ د دقیق سطحې ځانګړتیاو څخه ګټه پورته کولو ته اجازه ورکوي، او ګرانایټ د هوا بیرنگونو ته وړتیا ورکوي ترڅو ثبات او موقعیت دقت ترلاسه کړي چې دوی په لومړي ځای کې د کارولو ارزښت لري.
د هوا د بیرنگ د عملیاتو فزیک
یو دودیز رولینګ عنصر بیرنگ - بال بیرنگ یا رولر بیرنگ - د هرټزیان تماس له لارې د حرکت کونکي بار ملاتړ کوي: بالونه یا رولرونه د ریس ویز په وړاندې فشار راوړي، د بار لاندې یو څه خراب کیږي او د یوې کوچنۍ مګر غیر صفر تماس ساحې له لارې ځواک لیږدوي. دا اړیکه رګونه رامینځته کوي، اغوستل معرفي کوي، او یو میخانیکي لاره رامینځته کوي چې له لارې یې وایبریشن د بیرنگ څخه ملاتړ شوي جوړښت ته لیږدول کیدی شي.
د هوا بیرنگ د دې جامد تماس ځای د فشار شوي ګاز د پتلي فلم سره نیسي - معمولا پاک، وچ فشار شوی هوا، که څه هم نایتروجن په هغه غوښتنلیکونو کې کارول کیږي چیرې چې د هوا رطوبت ستونزه لري. حرکت کوونکی عنصر ("سلائیډر" یا "ګاډی") د لارښود سطحې څخه د یوې تشې په واسطه جلا کیږي چې معمولا 5-15 مایکرو متره پراخه وي. فشار شوی هوا د سلایډر مخ کې د کوچنیو سوریو یا سوریو سطحو له لارې چمتو کیږي، دې تشې ته بهیږي، او بیا د بیرنگ ساحې په څنډو کې بهر کیږي.
په تشه کې د فشار ویش - د اکمالاتي سوریو ته نږدې لوړ، د وتلو ته نږدې ټیټ - د خالص پورته کولو ځواک رامینځته کوي چې د ګاډۍ وزن (په افقي ترتیبونو کې) یا پلي شوي بار ملاتړ کوي. لکه څنګه چې تشه کمیږي (د مثال په توګه، که ګاډۍ د بار لاندې یو څه ټیټه شي)، د جریان مقاومت زیاتیږي، فشار لوړیږي، او د بیا رغونې ځواک زیاتیږي - د ځان ثبات سیسټم رامینځته کوي. برعکس، که تشه زیاته شي، فشار راټیټیږي او بیرنگ لږ سخت کیږي.
د دې تماس څخه پاک بار ملاتړ کلیدي پایله د جامد او سلایډینګ رګونو نږدې بشپړ له منځه وړل دي. د هوا ښه ډیزاین شوی مرحله جامد رګونه لري چې په مؤثره توګه د اندازې وړ ندي - په اصل کې د ډیری ځواک اندازه کولو سیسټمونو ریزولوشن کې صفر. دا ملکیت د "سیکشن" نشتوالي په توګه تشریح شوی - د سټیک سلیپ پدیده چیرې چې جامد رګونه (د متحرک رګونو څخه لوړ) باید د حرکت پیل کولو لپاره له منځه یوړل شي، چې د یو ټکان لامل کیږي چې وروسته موقعیت ګډوډوي.
ولې د دقیق موقعیت لپاره له سټیکشن څخه پاک حرکت مهم دی
په دودیز بال سکرو یا لیډ سکرو چلول شوي موقعیت مرحله کې چې د رولینګ عنصر بیرنګونو سره وي، سټیکشن د موقعیت تکرار وړتیا باندې یو بنسټیز محدودیت دی. کله چې د موقعیت کنټرول سیسټم یو کوچنی حرکت امر کوي، د ډرایو میکانیزم باید لومړی د ګاډي حرکت کولو دمخه د جامد رګ څخه تیر شي. دا پدې مانا ده چې امر شوی موقعیت او اصلي موقعیت په کوچنیو ګامونو کې یو شان ندي - مرحله "چپکیږي" او بیا "سلیپ کیږي"، د تنظیم کولو دمخه د امر شوي موقعیت څخه تیریږي.
دا اغیزه د ګام اندازې او موقعیت بینډ ویت په اړه عملي ټیټ حد وضع کوي. په سرو سیسټمونو کې، سټیکشن د حد سایکلینګ لامل کیږي - یو حالت چیرې چې د موقعیت کنټرول لوپ په دوامداره توګه د امر شوي موقعیت شاوخوا ښکار کوي، نشي کولی یو مستحکم ارزښت ته ورسیږي ځکه چې د سمون هر حرکت د سټیکشن بریالي کیدو ته اړتیا لري، کوم چې بیا مرحله د هدف څخه تیریږي.
د هوا بیرنگونه په بشپړه توګه نښلول له منځه وړي. ګاډی په دوامداره هوایی فلم باندې تیریږي، او هر ډول کوچنی ځواک چې د حرکت په لوري پلي کیږي متناسب حرکت رامینځته کوي. دا پدې مانا ده چې:
- د نانومیټر په کچه موقعیت د مناسب ډرایو میکانیزمونو (لینیر موټرو، پیزو الیکټریک ایکچویټرونو، یا غږ کویل ایکچویټرونو) په کارولو سره د ګام اندازې ټیټ حد پرته چې سټیشن یې وضع کوي، ترلاسه کیدی شي.
- د تنظیم وخت په ډراماتیک ډول کم شوی ځکه چې د کنټرول لوپ په هر حرکت کې د سټیکشن سره مبارزه نه کوي.
- د تکرار وړتیا په عمده توګه د انکوډر ریزولوشن او تودوخې اغیزو لخوا محدوده ده نه د رګونو تغیراتو لخوا.
د سیمیکمډکټر فوټولیتوګرافي لپاره، چیرې چې د ویفر مرحله باید د هر ډای موقعیت ته د فرعي نانومیټر تکرار وړتیا سره په هر ثانیه کې د سلګونو ګامونو په سرعت سره ګام پورته کړي، دا ملکیتونه اړین دي. اوس مهال هیڅ بل بیرینګ ټیکنالوژي په اړین پیمانه د پرتلې وړ فعالیت نه وړاندې کوي.
د ګرانایټ لارښود سطحه: د هوا بیرینګ فعالیت فعالول
د هوا بیرنگ یوازې د هغه سطحې په څیر ښه دی چې پرې سپاره کیږي. د 5-15 μm د هوا فلم تشه د لارښود سطحې د ناهموارۍ زغم نه دی - دا د ټولو بدلونونو سرچینو په شمول د عملیاتي تصفیې ټولګه ده. د لارښود سطح باید پخپله د دې تشې په پرتله نرم او فلیټ وي ترڅو د هوا بیرنگ په سمه توګه کار وکړي.
د سطحې پای (د سختوالي) اړتیاوې
د لارښود سطحې ناهمواروالی باید د هوا د تشې یوه کوچنۍ برخه وي. الفد لارښود سطحهد 0.4 μm د Ra ناهموارۍ سره (یو مناسب ښه ماشین شوی سطح) به د هوا د تشې د پام وړ برخې سره پرتله کیدونکي سیمه ایز لوړوالی بدلونونه وړاندې کړي، د فشار ګډوډ بدلونونه رامینځته کړي چې په مستقیم ډول په ګاډۍ کې د موقعیت شور ته ژباړل کیږي.
د هوا د بارولو لپاره د دقیق ګرانایټ لارښود سطحې د 0.02–0.1 μm (20–100 nm) د Ra ارزښتونو سره سم لپ شوي دي - د عکس کیفیت پای ته رسیدو سره مطابقت لري. په ګرانایټ باندې د دې ناهموارۍ ارزښتونو ترلاسه کولو لپاره ځانګړي لیپینګ تخنیکونو، لوړ کیفیت لرونکي کثافاتو، او ماهر آپریټرانو ته اړتیا ده چې د موادو لرې کولو میکانیزم او د ښه لیپینګ پرمهال د ګرانایټ کرسټالین مایکرو جوړښت چلند دواړه پوهیږي.
د ګرانایټ سختوالی دلته مستقیم اړونده دی: یو سخت، ډیر کثافت لرونکی ډبره (لکه د پریمیم تور ګرانایټ چې کثافت یې ≈ 3,100 کیلوګرام/متر مربع دی) د نرم خړ ګرانایټ یا مرمر په پرتله د ټیټ ناهموارۍ لپاره لپاس کیدی شي، ځکه چې د هغې ښه، ډیر ټینګ تړل شوی کرسټال جوړښت د غلو ټوټې نه راوباسي چې د ښه لیپ کولو پرمهال سطحه سکریچ کوي. دا یو له مهمو تخنیکي دلیلونو څخه دی چې ولې د موادو انتخاب د هوا بیرینګ لارښود سطحو لپاره مهم دی، نه یوازې د سطحې پلیټ د نړیوال فلیټنس مشخصاتو لپاره.
د فلیټوالي او مستقیموالي اړتیاوې
د سطحې د ناهموارۍ هاخوا، د هوا د بار وړونکي لارښود سطحې باید د سختو فلیټینګ اړتیاو سره سمې وي. د هوا د بار وړونکي مرحلې بار وړل د لارښود سطح "لوستل" کوي - د سفر په اوږدو کې په هره نقطه کې د هغې موقعیت د لارښود سطحې د ځایی بڼې لخوا ټاکل کیږي. د لارښود سطحې د مثالي فلیټینګ (په Z لوري کې) یا مستقیمیت (د حرکت په عمودي لوري کې، د XY الوتکې دننه) څخه هر ډول انحراف د ګاډۍ د اړونده حرکت غلطۍ په توګه تولید کیږي.
دا هغه پدیده ده چې د ابي تېروتنې (یا ساین تېروتنې) په نوم پیژندل کیږي: که چیرې د لارښود سطحه د θ رادیانونو د سلپ تېروتنه ولري، او د ګاډۍ د ګټې نقطه د لارښود سطحې څخه په L واټن کې وي، نو پایله یې د اړخ موقعیت تېروتنه د کوچنیو زاویو لپاره L × sin(θ) ≈ L × θ ده. د ګاډۍ لپاره چیرې چې د اندازه کولو کوډر او هغه برخه چې اندازه کیږي په عمودي لوري کې د 100mm لخوا جلا شوي وي، د لارښود سطحې سلپ تېروتنه د 1 آرک ثانیې نږدې 0.48 μm موقعیت تېروتنه رامینځته کوي.
د دې اغیز کمولو لپاره د مرحلې د بشپړ سفر اوږدوالي په اوږدو کې د آرک ثانیې حد یا لاندې د مستقیموالي غلطیو سره د لارښود سطحو ته اړتیا ده. د 500 ملي میتر سفر مرحلې لپاره، دا د بشپړ ګرانایټ لارښود اوږدوالي په اوږدو کې د څو مایکرومیټرونو یا لږ لوړوالي توپیرونو سره مطابقت لري. د دې کچې مستقیموالي ترلاسه کول او تایید کول د دقیق لیپ کولو تخنیکونو، د بریښنایی کچو او لیزر انټرفیرومیټرونو سره محتاط اندازه کولو، او د سکریپ کولو اصلاح تخنیکونو ته اړتیا لري چې د سطحې پلیټ لیپ کولو لپاره کارول کیږي.
د هوا د نفوذ وړتیا او سوروالی
د ګرانایټ یوه ځانګړتیا چې د هوا د بارولو لپاره خورا مهمه ده مګر په عمومي ادبیاتو کې په ندرت سره بحث کیږي هغه د سوري کولو وړتیا ده. که چیرې د ګرانایټ لارښود سطح خلاص سوري ولري - مایکروسکوپي خلاوې چې د ډبرې داخلي برخه له سطحې سره وصل کوي - د بارولو په تشه کې فشار شوی هوا کولی شي د بارولو وتلو ته په مساوي ډول د جریان پرځای ډبرې ته ننوځي. دا د فشار غیر مساوي ویش رامینځته کوي، د هوا مصرف زیاتوي، او په سختو قضیو کې کولی شي بارول په محلي توګه د سقوط لامل شي.
د لوړ کثافت تور ګرانایټ، چې د هغې د غلیظ کرسټالین جوړښت له امله خورا ټیټ سوریتوب لري، د ټیټ کثافت خړ ګرانایټونو په پرتله د دې ستونزې لپاره د پام وړ لږ حساس دی. د نږدې 3,100 kg/m³ کثافت - د عادي خړ ګرانایټ په پرتله چې 2,600-2,700 kg/m³ دی - په موادو کې د خالي برخې خورا ټیټ منعکس کوي. د هوا د بارولو لارښود سطحو لپاره، د پورسیت کې دا توپیر په مستقیم ډول د بارولو فعالیت او ثبات اغیزه کوي.
په مهمو غوښتنلیکونو کې، د سطحې اضافي درملنې (د ایپوکسی سره د ویکیوم امپریګنیشن، یا د لیپ کولو ځانګړي پروسیجرونه چې د سطحې سوري بندوي) ممکن پلي شي. په هرصورت، د ټیټ سوري موادو سره پیل کول د داسې درملنې اړتیا او د سوري پورې اړوند فعالیت مسلو خطر دواړه کموي.
د ګرانایټ هوایی بیرنگ اسمبلۍ: د ډیزاین نظرونه
په ګرانایټ باندې د هوا د بشپړ برداشت کولو مرحله د لارښود سطحې هاخوا ډیری انجینري ملاحظات لري:
د مخکې پورته کولو ډیزاین
د هوا بیرنگونه باید مخکې له مخکې بار شي - پدې معنی چې د بیا رغونې ځواک باید د ګاډۍ د هر ډول تمایل سره مخالفت وکړي چې د لارښود سطحې څخه پورته شي. د مخکې بار پرته، ګاډۍ به په ساده ډول د هر ډول پورته خنډ لاندې له سطحې څخه لرې تیر شي. مخکې بار کول د دریو میتودونو څخه د یوې لخوا ترلاسه کیږي:
مخالف هوایی بیرنگونه د لارښود ریل یا فلیټ سطحې په مخالف اړخ کې د دوهم هوایی بیرنگ سطح کاروي، مخالف فشار ځواکونه رامینځته کوي چې ګاډی لارښود ته محدودوي پداسې حال کې چې لاهم په دواړو خواوو کې د هوایی فلم جلا کول ساتي. دا د دقیق خطي مرحلو لپاره ترټولو عام ترتیب دی.
د ویکیوم پری بار شوي بیرنگونه د بیرنگ مخ دننه د مرکزي ویکیوم زون څخه کار اخلي، چې د فشار شوي حلقوي سیمې لخوا محاصره شوی وي. خالص ځواک د فشار شوي زون د پورته کولو ځواک او د ویکیوم زون د جذب ترمنځ توپیر دی، چې په پایله کې د لارښود سطحې په لور خالص پری بار کیږي.
مقناطیسي پریلوډ د ګاډۍ د سطحې په لور د کشش لپاره په ګاډۍ کې د دایمي مقناطیسونو او د فیرومقناطیسي لارښود ریل ترمنځ د جذابیت ځواک کاروي. دا طریقه اړتیا لري چې د ګرانایټ لارښود ریل فولاد یا اوسپنې عناصر شامل کړي، کوم چې ډیزاین پیچلی کوي مګر کولی شي خورا کمپیکٹ بیرینګ اسمبلۍ تولید کړي.
د هوا رسولو او فلټریشن
د هوا د بارولو پړاوونه د منظم فشار سره د پاکې، وچې، ذرې نه پاکې فشار شوې هوا دوامداره رسولو ته اړتیا لري - معمولا 0.4-0.6 MPa. د تیلو ایروسولونو، د اوبو بخاراتو، یا جامد ذراتو سره د هوا رسولو ککړتیا د هوا د بارولو د ناکامۍ یو له عامو لاملونو څخه دی. د تیلو ککړتیا د بارولو سطحې پوښي، د دوی جیومیټري او لندبل بدلوي؛ د اوبو کنډیشن د فشار بدلونونه رامینځته کوي؛ جامد ذرات کولی شي د بارولو تشه ډکه کړي او د بار وړلو مخ او د ګرانایټ لارښود سطح دواړه سکور کړي.
د نیمه کنډکټر تولید چاپیریال کې، د هوا رسولو کیفیت عموما د تاسیساتو معیارونو لخوا ښه کنټرول کیږي. په نورو صنعتي چاپیریالونو کې، باید پاملرنه وشي چې د هوا رسولو په وخت کې مناسب فلټریشن او وچول چمتو شي.
د هوا په فلم باندې د تودوخې اغیزې
د هوا واسکاسیټي د تودوخې سره بدلون مومي — د خونې په تودوخه کې تقریبا 2٪ په هر درجې سیلسیس کې. د هوا رسولو کې د تودوخې د پام وړ بدلون (د مثال په توګه د کمپرسور خونې څخه د تودوخې کنټرول شوي پاک خونې ته) د بیرنگ سختۍ او د پورته کولو ځواک بدلوي. په دقیق غوښتنلیکونو کې، د هوا رسولو تودوخه باید د فشار سربیره تنظیم شي.
د بیرنگ تشه پخپله د هوا فلم د ویسکوس شییر له لارې یو کوچنی مګر غیر صفر تودوخه تولیدوي. د لوړ سرعت مرحلو لپاره، دا د تودوخې سرچینه باید د سیسټم په تودوخې ماډل کې حساب شي ترڅو په ګرانایټ یا د ګاډۍ جوړښت کې د تودوخې ناڅاپي تدریجي بدلونونو څخه مخنیوی وشي.
د هوا د بیرنگ مرحلې فعالیت اندازه کول او تایید کول
د راټولولو وروسته، په ګرانایټ باندې د هوا د بارولو مرحله باید مشخص شي ترڅو تایید شي چې دا د خپل فعالیت مشخصات پوره کوي. د اندازه کولو لپاره مهم پیرامیټرې عبارت دي له:
د موقعیت تکرار وړتیا — د هدف موقعیتونو لړۍ ته د سټیج د قوماندې کولو او د لوړ ریزولوشن خطي کوډ کونکي یا لیزر انټرفیرومیټر سره د اصلي موقعیتونو ثبتولو سره اندازه کیږي. دوه اړخیز تکرار وړتیا (له دواړو لوریو څخه نږدې کیدل) د هیسټریسیس لپاره ازموینې.
د سفر مستقیموالی - د سفر لارې په اوږدو کې د دقیق مستقیم څنډې (ډیری وختونه، پخپله د دقیق ګرانایټ حواله) نصبولو او د بریښنایی ګیج په کارولو سره د مستقیم کرښې څخه د ګاډۍ انحراف اندازه کولو لپاره اندازه کیږي ځکه چې دا خپل بشپړ رینج تیریږي.
زاویوي غلطۍ (پیچ، رول، یاو) — د آټوکولیمیټرونو یا په ګاډۍ کې نصب شوي بریښنایی کچو په کارولو سره اندازه کیږي، د ګاډۍ په سمت کې کوچني زاویوي بدلونونه کشف کوي کله چې حرکت کوي.
د هوا مصرف او د بیرنگ سختوالی - د موټر ته د پیژندل شوي بارونو په پلي کولو او د پایله کې د تشې بدلون اندازه کولو سره اندازه کیږي (د انکوډر لوستلو څخه)، د بیرنگ سختوالی (د هر واحد بې ځایه کیدو ځواک) محاسبه کولو ته اجازه ورکوي.
دا اندازه ګیرۍ، چې د مناسب ریزولوشن او تعقیب وړ کیلیبریشن وسیلو سره ترسره کیږي، د فعالیت اساس چمتو کوي چې په وړاندې یې مرحله ساتل کیدی شي او د هغې د خدمت ژوند په اوږدو کې بیا تصدیق کیدی شي.
هغه غوښتنلیکونه چې د ګرانایټ هوا بیرینګ مرحلې اړینې دي
د هوا د بار وړلو حرکت او د ګرانایټ لارښود سطحو ترکیب هر هغه ځای کې څرګندیږي چیرې چې د غوښتنلیک فزیک د دوی ګډ ملکیتونه غواړي:
د سیمیکمډکټر ویفر تفتیش او لیتوګرافي - دمخه په پراخه کچه بحث شوی؛ د بنچمارک غوښتنلیک چې د ټیکنالوژۍ پراختیا یې د هنر اوسني حالت ته ورسوله.
د لوړ سرعت PCB برمه کول — د څو سپینډل برمه کولو ماشینونه چې باید په یو وخت کې د PCB پینل باندې ډیری ډرل بټونه ځای په ځای کړي د ګرانایټ بیسونو او هوایی بیرینګ کراس سلایډونو څخه کار اخلي ترڅو د سرعت، دقت او اوږدمهاله ثبات ترکیب ترلاسه کړي.
د نظري پروفیلومیټري او سطحې تفتیش — هغه وسایل چې د فرعي نانومیټر ریزولوشن کې د سطحې شکل اندازه کوي باید د دوی د اندازه کولو پروب د برخې سطحې باندې د خورا نرم او ټیټ وایبریشن حرکت سره سکین کړي. د ګرانایټ لارښود سطحو کې د هوا بیرنگونه د حرکت اړین کیفیت چمتو کوي.
دقیق لیزر ماشین کول — د فیمټوسیکنډ او پیکوسیکنډ لیزر سیسټمونه چې د دقیق موادو لرې کولو لپاره کارول کیږي — د سترګو له ساینس څخه تر مایکرو الیکترونیکونو او فضايي اجزاو پورې — د نانومیټر کچې دقت او اسانه، له سټیکشن څخه پاک حرکت سره د موقعیت مرحلو ته اړتیا لري ترڅو د اړتیا وړ خلاصولو کیفیت ترلاسه کړي.
د خطي پیمانه کیلیبریشن — د دقیق خطي کوډ کونکو او لیزر انټرفیرومیټر سیسټمونو لپاره د کیلیبریشن سیسټمونه باید د حوالې هنر حرکت وکړي چې د حرکت کیفیت دومره ښه وي چې حرکت پخپله د کیلیبریشن دقت محدود نه کړي. د دقیق ګرانایټ لارښود سطحو کې د هوا بیرنگ مرحلې د خورا تقاضا کونکي کیلیبریشن سیسټمونو لپاره معیاري انتخاب دی.
پایله: د هوا فلم او ډبره
د هوا د بارولو ټیکنالوژي او دقیق ګرانایټ، په ریښتیني انجینرۍ معنی کې، د یو بل لپاره جوړ شوي دي. د هوا د بارولو عملیاتو فزیک د لارښود سطحې د ناهموارۍ، فلیټوالي، او مادي ملکیتونو په اړه سختې غوښتنې ټاکي - غوښتنه کوي چې دقیق ګرانایټ، کله چې تولید او مناسب معیارونو ته پروسس شي، په ځانګړي ډول د پوره کولو لپاره ښه موقعیت ولري. او د هوا بیرنگونه، د رګونو او تماس اغوستلو له منځه وړلو سره، د دقیق ګرانایټ د نانومیټر پیمانه سطحې پای ته اجازه ورکوي چې په دوامداره توګه د تخریب پرته ګټه پورته شي.
پایله یې د موقعیت ورکولو ټیکنالوژي ده چې د حرکت کیفیت ترلاسه کولو توان لري - په نانومیټرونو کې اندازه کیږي - چې د تیرو نسل انجینرانو ته به په زړه پورې ښکاري. دا چې دا ټیکنالوژي په فزیکي او مفهومي ډول د لرغوني ډبرې په بنسټ ولاړه ده، د عصري دقیق انجینرۍ یو له خورا ښکلي طنزونو څخه دی.
د پوسټ وخت: جون-۲۶-۲۰۲۶