ګرانایټ د نیمه هادي صنعت کې د خپلو غوره میخانیکي ملکیتونو، حرارتي ثبات او د تودوخې د پراختیا ټیټ ضریب لپاره یو عام کارول شوی مواد دی. په هرصورت، د لوړ دقت او تولید لپاره د مخ په زیاتیدونکي غوښتنې سره، بدیل مواد د نیمه هادي تجهیزاتو اجزاو جوړولو لپاره د عملي انتخابونو په توګه راڅرګند شوي دي. پدې مقاله کې، موږ به د نیمه هادي تجهیزاتو کې د ګرانایټ برخو لپاره ځینې بدیل مواد وپلټو او د دوی ګټې او زیانونه به پرتله کړو.
د ګرانایټ برخو لپاره بدیل توکي
۱. د شیشې سیرامیک مواد
د شیشې سیرامیک مواد، لکه زیروډور او سرویټ، د سیمیکمډکټر صنعت کې د دوی د ټیټ حرارتي توسعې ضریب له امله پراخه کارول شوي، کوم چې د سیلیکون سره نږدې دی. په پایله کې، دا مواد کولی شي د سیمیکمډکټر جوړولو په پروسه کې غوره حرارتي ثبات او لوړ دقت چمتو کړي. زیروډور، په ځانګړي توګه، د یووالي او ثبات لوړه کچه لري، چې دا د لیتوګرافي تجهیزاتو تولید لپاره مناسب کوي.
ګټې:
- د حرارتي پراختیا ټیټ ضریب
- لوړ دقت او ثبات
- د لوړ حرارت غوښتنلیکونو لپاره مناسب
زیانونه:
- د ګرانایټ په پرتله لوړ لګښت
- په نسبي ډول ماتیدونکی، ممکن د ماشین کولو او سمبالولو په برخه کې ننګونې رامینځته کړي
۲. سیرامیک
د سیرامیک مواد، لکه المونیم اکسایډ (Al2O3)، سیلیکون کاربایډ (SiC)، او سیلیکون نایټرایډ (Si3N4)، غوره میخانیکي ځانګړتیاوې، د لوړ تودوخې مقاومت، او د تودوخې د پراختیا ټیټ کوفیشینټ لري. دا ځانګړتیاوې سیرامیکونه د سیمیکمډکټر تجهیزاتو برخو لپاره مثالی کوي چې لوړ حرارتي ثبات او دقت ته اړتیا لري، لکه د ویفر مرحلې او چکونه.
ګټې:
- لوړ حرارتي ثبات او ځواک
- د تودوخې د پراختیا ټیټ ضریب
- د لوړ لباس مقاومت او کیمیاوي بې ثباتي
زیانونه:
- کیدای شي ماتیدونکی او درزیدو ته لیواله وي، په ځانګړي توګه د ماشین کولو او سمبالولو پرمهال
- د سیرامیکونو ماشین کول او پالش کول ستونزمن او وخت نیونکی کیدی شي.
۳. فلزات
د فلزاتو پر بنسټ مواد، لکه سټینلیس سټیل او ټایټانیوم، د دوی د غوره ماشین وړتیا او لوړ ځواک له امله د ځینې سیمیکمډکټر تجهیزاتو برخو لپاره کارول شوي. دوی معمولا په هغو غوښتنلیکونو کې کارول کیږي چیرې چې لوړ حرارتي ثبات ته اړتیا نشته، لکه د چیمبر برخې، جوړه کول، او فیډ ترو.
ګټې:
- ښه ماشین وړتیا او ویلډ وړتیا
- لوړ قوت او انعطاف
- د ځینو بدیل موادو په پرتله ټیټ لګښت
زیانونه:
- د لوړ حرارتي پراختیا کوفیفینټ
- د تودوخې د پراختیا د ستونزو له امله د لوړې تودوخې غوښتنلیکونو لپاره مناسب ندي
- د زنګ وهلو او ککړتیا په وړاندې حساس
پایله:
په لنډه توګه، پداسې حال کې چې ګرانایټ د نیمه سیمیکمډکټر تجهیزاتو برخو لپاره یو مشهور انتخاب و، بدیل مواد راڅرګند شوي، هر یو یې ځانګړي ګټې او زیانونه لري. د شیشې سیرامیک مواد خورا دقیق او مستحکم دي مګر کولی شي ماتیدونکي وي. سیرامیکونه قوي دي او غوره حرارتي ثبات لري مګر کولی شي ماتیدونکي هم وي، چې د تولید لپاره یې ډیر ننګونکي کوي. فلزات ارزانه، ماشین وړ او نرم دي، مګر دوی د تودوخې پراختیا لوړ ضریب لري او د زنګ وهلو او ککړتیا لپاره حساس دي. کله چې د نیمه سیمیکمډکټر تجهیزاتو لپاره مواد غوره کوئ، نو دا خورا مهمه ده چې د غوښتنلیک ځانګړي اړتیاوې په پام کې ونیسئ او هغه مواد غوره کړئ چې لګښت، فعالیت او اعتبار متوازن کړي.
د پوسټ وخت: مارچ-۱۹-۲۰۲۴