د سیمیکمډکټر تولید په برخه کې، د ویفر تفتیش تجهیزاتو دقت په مستقیم ډول د چپس کیفیت او حاصل ټاکي. د بنسټ په توګه چې د اصلي کشف اجزاو ملاتړ کوي، د تجهیزاتو اساس موادو ابعادي ثبات د تجهیزاتو اوږدمهاله عملیاتي فعالیت کې مهم رول لوبوي. ګرانایټ او کاسټ اوسپنه د ویفر تفتیش تجهیزاتو لپاره دوه عام کارول شوي اساس توکي دي. د 10 کلنې پرتلیزې مطالعې د ابعادي ثبات له مخې د دوی ترمنځ د پام وړ توپیرونه څرګند کړي، چې د تجهیزاتو انتخاب لپاره مهم حوالې چمتو کوي.
تجربوي پس منظر او ډیزاین
د سیمیکمډکټر ویفرونو د تولید پروسه د کشف دقت لپاره خورا لوړې اړتیاوې لري. حتی د مایکرومیټر کچې ابعادي انحراف کولی شي د چپ فعالیت یا حتی سکریپ کولو کې کمښت لامل شي. د اوږدې مودې کارونې پرمهال د ګرانایټ او کاسټ اوسپنې ابعادي ثبات سپړلو لپاره، د څیړنې ټیم داسې تجربې ډیزاین کړې چې د ریښتیني کاري چاپیریال تقلید کوي. د ورته مشخصاتو ګرانایټ او کاسټ اوسپنې نمونې غوره شوې او په چاپیریالي خونه کې ځای په ځای شوې چیرې چې تودوخه له 15 ℃ څخه تر 35 ℃ پورې بدلون مومي او رطوبت له 30٪ څخه تر 70٪ RH پورې بدلون مومي. د تجهیزاتو د عملیاتو پرمهال میخانیکي وایبریشن د وایبریشن میز له لارې سمول شوی و. د نمونو کلیدي ابعاد په هره ربع کې د لوړ دقیق لیزر انټرفیرومیټر په کارولو سره اندازه شوي، او معلومات په دوامداره توګه د 10 کلونو لپاره ثبت شوي.
تجربوي پایله: د ګرانایټ مطلق ګټه
د لسو کلونو تجربوي معلوماتو ښودلې چې د ګرانایټ سبسټریټ حیرانونکی ثبات ښیې. د هغې د تودوخې پراخیدو ضریب خورا ټیټ دی، په اوسط ډول یوازې 4.6×10⁻⁶/℃ دی. د تودوخې د سخت بدلونونو لاندې، ابعادي انحراف تل د ±0.001mm دننه کنټرول کیږي. د رطوبت بدلونونو سره مخ، د ګرانایټ کثافت جوړښت دا تقریبا غیر اغیزمن کوي، او د اندازه کولو وړ ابعادي بدلونونه نه پیښیږي. په میخانیکي کمپن چاپیریال کې، د ګرانایټ غوره ډمپینګ ځانګړتیاوې په مؤثره توګه د کمپن انرژي جذبوي، او ابعادي بدلون خورا کوچنی دی.
په مقابل کې، د کاسټ اوسپنې سبسټریټ لپاره، د تودوخې پراختیا اوسط ضریب 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ ته رسیږي، او د 10 کلونو په اوږدو کې د تودوخې بدلونونو له امله رامینځته شوی اعظمي ابعادي انحراف ±0.05 ملي میتر دی. په مرطوب چاپیریال کې، کاسټ اوسپنه د زنګ او زنګ وهلو سره مخ ده. ځینې نمونې محلي خرابوالی ښیې، او ابعادي انحراف نور هم زیاتیږي. د میخانیکي وایبریشن د عمل لاندې، کاسټ اوسپنه د وایبریشن ډمپ کولو ضعیف فعالیت لري او د هغې اندازه په مکرر ډول بدلون مومي، چې د ویفر تفتیش لوړ دقیق اړتیاو پوره کول ستونزمن کوي.
د ثبات د توپیر اساسي دلیل
ګرانایټ د سلګونو ملیون کلونو په اوږدو کې د جیولوژیکي پروسو له لارې جوړ شوی. د هغې داخلي جوړښت غلیظ او یوشان دی، او د معدني کرسټالونه په ثابت ډول تنظیم شوي، چې د طبیعت له مخې داخلي فشار له منځه وړي. دا د بهرني فکتورونو لکه تودوخې، رطوبت او وایبریشن بدلونونو ته خورا حساس کوي. کاسټ اوسپنه د کاسټ کولو پروسې لخوا رامینځته کیږي او مایکروسکوپي نیمګړتیاوې لري لکه سوري او دننه شګه سوري. په ورته وخت کې، د کاسټ کولو پروسې په جریان کې رامینځته شوی پاتې فشار د بهرني چاپیریال د محرک لاندې ابعادي بدلونونو لامل کیږي. د کاسټ اوسپنې فلزي ملکیتونه دا د رطوبت له امله د زنګ وهلو، ساختماني زیان ګړندي کولو او ابعادي ثبات کمولو لپاره حساس کوي.
د ویفر تفتیش تجهیزاتو باندې اغیزه
د ګرینایټ سبسټریټ پر بنسټ د ویفر تفتیش تجهیزات، د خپل مستحکم ابعادي فعالیت سره، کولی شي ډاډ ترلاسه کړي چې د تفتیش سیسټم د اوږدې مودې لپاره لوړ دقت ساتي، د تجهیزاتو د دقت د زیاتوالي له امله رامینځته شوي غلط قضاوت او له لاسه ورکړل شوي کشف کموي، او د محصول حاصلات د پام وړ ښه کوي. په ورته وخت کې، د ساتنې ټیټ اړتیاوې د تجهیزاتو بشپړ ژوند دورې لګښت کموي. د کاسټ اوسپنې سبسټریټ کارولو تجهیزات، د ضعیف ابعادي ثبات له امله، مکرر کیلیبریشن او ساتنې ته اړتیا لري. دا نه یوازې عملیاتي لګښتونه زیاتوي بلکه ممکن د ناکافي دقت له امله د سیمیکمډکټر تولید کیفیت هم اغیزمن کړي، چې احتمالي اقتصادي زیانونه رامینځته کوي.
د سیمیکمډکټر صنعت د لوړ دقت او غوره کیفیت تعقیبولو رجحان لاندې، د ویفر تفتیش تجهیزاتو لپاره د اساس موادو په توګه د ګرانایټ غوره کول بې له شکه د تجهیزاتو فعالیت ډاډمن کولو او د تصدیو سیالي لوړولو لپاره یو هوښیار اقدام دی.
د پوسټ وخت: می-۱۴-۲۰۲۵