د دقیق هایدروسټاټیک هوا د تیرولو حرکت پلیټ فارم "نه لیدو وړ ډال": د ګرانایټ دقیق اساس سخت چاپیریالي اړتیاوې.

د لوړ پای تولید او عصري ساینسي څیړنو په برخو کې، د دقیق جامد فشار هوا تیرونکي حرکت پلیټ فارم د الټرا دقیق عملیاتو ترلاسه کولو لپاره کلیدي تجهیزات دي. د ګرانایټ دقیق اساس د پلیټ فارم اصلي ملاتړ کونکی برخه ده، او د هغې فعالیت د کاري چاپیریال سره نږدې تړاو لري. د دې چاپیریال اړتیاو پوهیدل او پوره کول نه یوازې د پلیټ فارم لوړ دقیق عملیات تضمینولی شي، بلکه د تصدۍ یوه مهمه برخه هم ده ترڅو په اړوندو برخو کې د هغې سیالي لوړه کړي، کوم چې لاندې په تفصیل سره تشریح شوي.

۱. تودوخه: دقیق کنټرول ترڅو ابعادي ثبات ډاډمن شي
که څه هم ګرانایټ د خپل ثبات لپاره پیژندل شوی، د هغې د تودوخې پراخیدو ضریب صفر نه دی، او د تودوخې کوچني بدلونونه ممکن لاهم د هغې ابعادي دقت اغیزمن کړي. په عمومي ډول، د ګرانایټ د تودوخې پراخیدو ضریب 5-7 ×10⁻⁶/℃ دی. د دقیق جامد فشار هوا د تیرونکي حرکت پلیټ فارم د غوښتنلیک سناریو کې، دا لږ بدلون د پلیټ فارم لخوا پراخ شوی، کوم چې ممکن د حرکت دقت انحراف لامل شي. د مثال په توګه، د سیمیکمډکټر چپ تولید پروسې کې، د دانامي کچې د موقعیت دقت اړتیاو لپاره د لیتوګرافي پروسه، د 1 ° C د محیطي تودوخې بدلون، د 1 متر ګرانایټ بیس اړخ اوږدوالی ممکن د 5-7 مایکرون خطي پراخیدو یا انقباض تولید کړي، کوم چې د چپ لیتوګرافي نمونې انحراف کولو لپاره کافي دی، حاصل کموي. له همدې امله، د دقیق جامد فشار هوا تیرونکی پلیټ فارم چې د ګرانایټ دقیق اساس سره سمبال دی، د مثالي کاري چاپیریال تودوخه باید په کلکه د 20 ° C ± 1 ° C کې کنټرول شي، تصدۍ کولی شي د لوړ دقیق ثابت تودوخې هوایی کنډیشن سیسټم نصب کړي، په دوامداره توګه د محیطي تودوخې څارنه او په سمه توګه تنظیم کړي، د ګرانایټ بیس ثبات اندازه وساتي، ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې پلیټ فارم لوړ دقیق عملیات کوي.
۲. رطوبت: مناسب کنټرول، د اساس فعالیت ساتنه
رطوبت هم د دقیق ګرانایټ اساساتو باندې د پام وړ اغیزه لري. په لوړ رطوبت چاپیریال کې، ګرانایټ د اوبو بخار جذبولو لپاره اسانه دی، او ممکن په سطحه کې کنډیشن شتون ولري، کوم چې نه یوازې د هوا د فلوټیشن سیسټم نورمال عملیات کې مداخله وکړي، بلکه د ګرانایټ سطحې اوږدمهاله تخریب لامل هم کیږي، چې د هغې دقت او د خدماتو ژوند کموي. د مثال په توګه د آپټیکل لینز ګرینډینګ ورکشاپ اخیستل، که چیرې رطوبت د اوږدې مودې لپاره له 60٪ RH څخه لوړ وي، د ګرانایټ بیس په سطحه جذب شوي د اوبو بخار به د هوا فلوټ فلم یوشانوالی له منځه یوسي، چې په پایله کې د لینز ګرینډینګ دقت کمیږي او د سطحې نیمګړتیاوې رامینځته کیږي. له همدې امله، د کاري چاپیریال نسبي رطوبت باید د 40٪-60٪ RH ترمنځ کنټرول شي. شرکتونه کولی شي د ډیهومیډیفیرونو، رطوبت سینسرونو او نورو تجهیزاتو څخه کار واخلي ترڅو په ریښتیني وخت کې رطوبت وڅاري او کنټرول کړي، د دقیق ګرانایټ بیس لپاره مناسب رطوبت چاپیریال رامینځته کړي، او د دقیق جامد فشار هوا فلوټینګ حرکت پلیټ فارم مستحکم عملیات ډاډمن کړي.

۳. پاکوالی: په کلکه کنټرول، د ذراتو مداخله له منځه وړل
د دوړو ذرات د دقیق جامد فشار هوا د حرکت پلیټ فارم "دښمن" دي، او د ګرانایټ دقیق اساس ته لوی زیان رسوي. کله چې کوچني ذرات د ګاز فلوټ سلائیډر او ګرانایټ اساس ترمنځ د ګاز فلم تشې ته ننوځي، دوی ممکن د ګاز فلم یووالي له منځه یوسي، رګونه زیات کړي، او حتی د اساس سطحه سکریچ کړي، چې د پلیټ فارم حرکت په جدي توګه اغیزمن کوي. د فضايي برخو د الټرا دقیق ماشین کولو ورکشاپ کې، که چیرې په هوا کې د دوړو ذرات د ګرانایټ اساس باندې راښکته شي، د ماشین کولو وسیلې د حرکت لاره ممکن انحراف شي، چې د برخو د ماشین کولو دقت اغیزه کوي. له همدې امله، کاري ساحه باید ډیره پاکه وساتل شي او د 10,000 یا حتی لوړ پاکوالي معیار ته ورسیږي. تصدۍ کولی شي د لوړ موثریت هوایی فلټرونو (HEPA) نصبولو سره په هوا کې د دوړو ذرات فلټر کړي، او کارمندانو ته اړتیا لري چې د دوړو څخه پاک جامې، د بوټانو پوښونه، او نور واغوندي، ترڅو د انسانانو لخوا راوړل شوي دوړې کمې کړي، او د ګرانایټ اساس او دقیق جامد فشار هوا د حرکت پلیټ فارم لوړ دقیق عملیاتي چاپیریال وساتي.
۴. وایبریشن: د اسانه ځای د جوړولو لپاره مؤثره انزوا
بهرنۍ وایبریشن به د دقیق جامد فشار هوا تیرونکي پلیټ فارم دقت سره په جدي توګه مداخله وکړي، که څه هم د دقیق ګرانایټ اساس یو ټاکلی کمپن کمولو ظرفیت لري، مګر د لوړ ځواک وایبریشن ممکن لاهم د خپل بفر حد مات کړي. د فابریکې شاوخوا ترافیک او د لوی میخانیکي تجهیزاتو عملیاتو لخوا رامینځته شوی وایبریشن د ځمکې له لارې ګرانایټ اساس ته لیږدول کیږي، کوم چې به د پلیټ فارم حرکت دقت سره مداخله وکړي. په لوړ پای CMM کې، وایبریشن ممکن د اندازه کولو پروب او ورک پیس ترمنځ اړیکه د اندازه کولو لپاره بې ثباته کړي، چې پایله یې د اندازه کولو ډیټا انحراف وي. د دې ستونزې د حل لپاره، دا اړینه ده چې د اغیزمن وایبریشن جلا کولو اقدامات غوره کړئ، لکه د تجهیزاتو نصبولو ساحه کې د وایبریشن جلا کولو پیډونو ایښودل، د وایبریشن جلا کولو بنسټ جوړول، یا د فعال وایبریشن جلا کولو سیسټم کارول ترڅو په فعاله توګه بهرني وایبریشن بند کړي، او د ګرانایټ دقیق اساس او دقیق جامد فشار هوا تیرونکي حرکت پلیټ فارم لپاره یو خاموش او باثباته کاري چاپیریال رامینځته کړي.
پورته چاپیریالي اړتیاوې پوره کړئ، ترڅو د دقیق جامد فشار هوا تیرونکي حرکت پلیټ فارم کې د ګرانایټ دقیق اساس ګټو ته بشپړ پلی ورکړئ، ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې پلیټ فارم د مختلفو صنعتونو لپاره د لوړ دقت او لوړ ثبات حرکت کنټرول خدمات چمتو کوي. که چیرې تصدۍ د تولید چاپیریال کې دې توضیحاتو ته پاملرنه وکړي، نو دوی به د دقیق تولید، ساینسي څیړنې او نورو برخو کې فرصت څخه ګټه پورته کړي، خپل سیالي به لوړه کړي، او دوامداره پرمختګ به ترلاسه کړي.