د نړیوال سیمیکمډکټر صنعت اوس مهال د "انګسټروم دور" په نه ستړي کیدونکي تعقیب کې بوخت دی، چیرې چې د ټرانزیسټر ابعاد یوازې د څو اتومونو په عرض کې اندازه کیږي. لکه څنګه چې لیتوګرافي او تفتیش وسایل دې مایکروسکوپي پیمانو ته لیږدول کیږي، د ساختماني ثبات غوښتنه د "میکرو" څخه "نانو" ته لیږدول شوې ده. د دې انقلاب په زړه کې یو مواد پروت دی چې د ځمکې په څیر لرغونی دی: دقیق ګرانایټ.
پداسې حال کې چې ډیری یې ګرانایټ ته د یوې ساده ډبرې په توګه ګوري، د یو شرایطو په توګهد نانو موقعیت ورکولو مرحلهیا د لوړ سرعت ویفر تفتیش سیسټم، دا یو پیچلی انجینري سیرامیک دی. د بنسټیزو میټرولوژي وسیلو او پرمختللي حرکت پلیټ فارمونو ترمنځ توپیر پوهیدل د OEMs لپاره اړین دي چې غواړي د سیلیکون جوړونې کې د هغه څه حدودو ته وده ورکړي چې ممکن دي.
د ګرانایټ CMM په مقابل کې د ګرانایټ سطحې پلیټ: د انجینرۍ بدلون پوهیدل
د کیفیت کنټرول په ډیری لابراتوارونو کې،د ګرانایټ سطحې پلیټدا یو هر ځای جوړونکی دی — د لاسي اندازه کولو لپاره یو باوري، فلیټ حواله. په هرصورت، یو عام غلط فهم شتون لري چې د سطحې پلیټ او د ګرانایټ CMM (همغږي اندازه کولو ماشین) اساس د تبادلې وړ دي. د انجینرۍ له نظره، دوی د پیچلتیا دوه مختلفې کچې استازیتوب کوي.
د سطحې پلیټ د جامد ثبات لپاره ډیزاین شوی. د هغې اصلي دنده د یو ثابت بار لاندې فلیټ پاتې کیدل دي. برعکس، د CMM یا دقیق مرحلې لپاره د ګرانایټ اساس باید متحرک بارونه اداره کړي. لکه څنګه چې د CMM پل حرکت کوي یا یو خطي موټور په څو Gs کې د ویفر مرحله ګړندۍ کوي، ګرانایټ باید نه یوازې د خمیدو، بلکې د تورشن او هارمونیک ریزونانس سره هم مقاومت وکړي.
د ZHHIMG انجنیران په ځانګړي ډول د متحرک غوښتنلیکونو لپاره "تور ګرانایټ" غوره کوي ځکه چې د هغې لوړ کثافت او د غلو ښه جوړښت دی. پداسې حال کې چې یو معیاري سطحي پلیټ ممکن ډیر سوري ډول وکاروي، د CMM اساس ترټولو لوړ ممکنه ینګ ماډل ته اړتیا لري ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې د لوړ سرعت حرکت "سنیپ" په ساختماني حلقه کې ژباړل نشي چې د اندازه کولو ډاټا به فاسد کړي.
د سیمیکمډکټر په تولید کې دقت مرحلې: د حاصلاتو بنسټ
په نیمه نیمه تولید کې، تروپټ او حاصل دوه خورا مهم معیارونه دي. دواړه په مستقیم ډول د فعالیت پورې اړه لريدقت مرحلې. که دا په DUV/EUV لیتوګرافي ماشین کې د ویفر مرحله وي یا په اتوماتیک آپټیکل تفتیش (AOI) وسیلې کې د موقعیت سیسټم وي، اساس مواد باید د فرعي نانومیټر تکرار وړتیا اسانه کړي.
په فابریکه کې اصلي ننګونه تودوخه ده. خطي موټرې او اکټیوټرونه د پام وړ حرارتي انرژي تولیدوي. که چیرې د سټیج اساس د المونیم یا فولادو څخه جوړ شوی وای، نو د تودوخې پراختیا پایله به یې ویفر د سمون څخه بهر ته واړوي، چې د "اوورلی غلطیو" لامل کیږي چې د چپس ټولې برخې خرابوي.
د ګرانایټ د تودوخې پراخېدو خورا ټیټ کوفیسینټ (CTE) ډاډ ورکوي چې حتی کله چې موټرې ګرمیږي، د سټیج فزیکي "نقشه" ثابت پاتې کیږي. سربیره پردې، ZHHIMG د ګرینایټ دودیز اجزا د مدغم هوا بیرنگ لارو سره چمتو کوي. ځکه چې ګرانایټ د عکس په څیر فلیټنس ته لیپ کیدی شي، دا د هوا بیرنگونو لپاره د مناسب ضد مخ په توګه کار کوي، مرحلو ته اجازه ورکوي چې د صفر رګ او صفر سټیکشن سره د هوا په پتلي فلم کې "تیر" شي.
د نانو موقعیت ورکولو مرحلې اساس فزیک
کله چې موږ د نړۍ ډګر ته ننوځود نانو موقعیت ورکولو مرحله، موږ د انسان د ویښتو څخه د 10,000 فکتور په اندازه کوچني حرکتونو سره معامله کوو. پدې کچه، وایبریشن دښمن دی. معیاري صنعتي فرشونه په دوامداره توګه د HVAC سیسټمونو، د پښو ترافیک، او نږدې ماشینونو له امله وایبریشن کوي.
ګرانایټ د یو لوی ټیټ پاس فلټر په توګه کار کوي. د خپل لوړ وزن او لوړ داخلي ډمپ کولو له امله، دا په طبیعي ډول د لوړ فریکونسۍ وایبریشنونه جذبوي مخکې لدې چې دوی حساس سینسرونو یا ویفر ته ورسیږي. دا "غیر فعال انزوا" هغه دلیل دی چې د نړۍ مخکښ لیتوګرافي عرضه کونکي په ZHHIMG تکیه کوي ترڅو د دوی د ویکیوم سره مطابقت لرونکي مرحلو لپاره درانه، مستحکم بنسټونه چمتو کړي. زموږ ګرانایټ په ځانګړي ډول درملنه کیږي ترڅو د صفر بهر ګاز کولو ډاډ ترلاسه کړي، دا د الکترون بیم او EUV پروسو لپاره اړین لوړ ویکیوم چاپیریال لپاره مناسب کوي.
حد ته رسیدل: د ZHHIMG ګټه
د ډبرې له خام بلاک څخه د سیمیکمډکټر درجې برخې ته لیږد د خورا صبر سفر دی. پداسې حال کې چې د CNC پیس کول موږ ته نږدې کوي، وروستی "سوپر-پریسیژن" درجه د لاسي لپ کولو له لارې ترلاسه کیږي. دا یوه پروسه ده چیرې چې د ZHHIMG تخنیکران په یو وخت کې د مایکرون برخې لرې کولو لپاره د کثافاتو پیسټونو او لاسي حرکتونو څخه کار اخلي.
د یو لپارهد نانو موقعیت ورکولو مرحله، یوازینۍ اړتیا نه ده چې فلیټ وي؛ د لارښود سطحو موازي او عمودي والی په مساوي ډول مهم دی. زموږ تاسیسات د لیزر ټریکرونو او بریښنایی کچو څخه کار اخلي چې د 0.1 آرک-ثانوي ریزولوشن سره دي ترڅو تایید کړي چې هر محور په بشپړ ډول سره سمون لري. د هنر دا کچه ډاډ ورکوي چې کله یو پیرودونکی خپل خطي موټورونه او انکوډرونه نصبوي، میخانیکي بنسټ "کامل" ته نږدې دی لکه څنګه چې فزیک اجازه ورکوي.
د راتلونکي ثبوت - د فیب
لکه څنګه چې صنعت د 2nm نوډونو او هاخوا ته حرکت کوي، د موادو پاکوالي او ابعادي ثبات اړتیاوې به یوازې شدت ومومي. د نورو پرمختللو موادو سره د ګرانایټ یوځای کول - لکه د کاربن فایبر پلونه یا د سیرامیک ویکیوم چکونه - د حرکت کنټرول کې راتلونکی سرحد دی.
ZHHIMG د یوازې یو عرضه کوونکي څخه ډیر څه ته ژمن پاتې کیږي؛ موږ د نړیوال سیمیکمډکټر اکمالاتي سلسله کې یو ګډ شریک یو. د راتلونکي نسل د دقیق مرحلو لپاره اړین الټرا مستحکم بنسټونو چمتو کولو سره، موږ د هغو ماشینونو په جوړولو کې مرسته کوو چې راتلونکی جوړوي.
د پوسټ وخت: فبروري-۰۲-۲۰۲۶