د ویفر پرې کولو تجهیزاتو کې د وایبریشن مقاومت او حرارتي ثبات له مخې د ګرانایټ اډو ګټې.

د نیمه کاره صنعت د نانو پیمانه تولیدي پروسو په لور د حرکت په جریان کې، د ویفر پرې کول، د چپ تولید کې د یوې مهمې اړیکې په توګه، د تجهیزاتو ثبات لپاره خورا سخت اړتیاوې لري. د ګرانایټ اساس، د خپل غوره وایبریشن مقاومت او حرارتي ثبات سره، د ویفر پرې کولو تجهیزاتو اصلي برخه ګرځیدلې، چې د لوړ دقت او لوړ موثریت ویفر پروسس ترلاسه کولو لپاره د باور وړ تضمین چمتو کوي.

لوړ نم ورکوونکی او د وایبریشن ضد ځانګړتیاوې: د نانو کچې د پرې کولو دقت خوندي کول
کله چې د ویفر پرې کولو تجهیزات په کار بوخت وي، د سپینډل لوړ سرعت گردش، د پرې کولو وسیلې لوړ فریکونسي وایبریشن، او د شاوخوا تجهیزاتو لخوا رامینځته شوي چاپیریالي وایبریشن به د پرې کولو دقت باندې د پام وړ اغیزه ولري. د دودیزو فلزي اساساتو د لندبل فعالیت محدود دی، چې د کمپنونو په چټکۍ سره کمول ستونزمن کوي، کوم چې د پرې کولو وسیلو د مایکرون کچې جټر لامل کیږي او په مستقیم ډول د ویفرونو کې د چپ شوي څنډو او درزونو په څیر نیمګړتیاوې رامینځته کوي. د ګرانایټ اساس لوړ لندبل ځانګړتیاو دا ستونزه په بنسټیز ډول حل کړې ده.
د ګرانایټ داخلي معدني کرسټالونه نږدې سره تړلي دي، چې د طبیعي انرژۍ د ضایع کیدو جوړښت جوړوي. کله چې وایبریشن اساس ته لیږدول کیږي، د هغې داخلي مایکرو جوړښت کولی شي په چټکۍ سره د وایبریشن انرژي په حرارتي انرژي بدله کړي، د وایبریشن اغیزمن کمښت ترلاسه کړي. تجربوي معلومات ښیې چې د ورته وایبریشن چاپیریال لاندې، د ګرانایټ اساس کولی شي د 0.5 ثانیو په اوږدو کې د وایبریشن طول له 90٪ څخه ډیر کم کړي، پداسې حال کې چې فلزي اساس له 3 څخه تر 5 ثانیو پورې اړتیا لري. دا غوره ډمپینګ فعالیت ډاډ ورکوي چې د پرې کولو وسیله د نانو پیمانه پرې کولو پروسې په جریان کې مستحکم پاتې کیږي، د ویفر پرې کولو یو نرم څنډه تضمینوي او په مؤثره توګه د چپ کولو کچه کموي. د مثال په توګه، د 5nm ویفر پرې کولو پروسې کې، د ګرانایټ اساس سره تجهیزات کولی شي د 10μm دننه د چپ کولو اندازه کنټرول کړي، کوم چې د فلزي اساس سره د تجهیزاتو په پرتله 40٪ لوړ دی.
د تودوخې د پراخېدو ډېر ټیټ ضریب: د تودوخې د بدلونونو د نفوذ په وړاندې مقاومت لري
د ویفر پرې کولو پروسې په جریان کې، د پرې کولو وسیلو د رګیدو له امله رامینځته شوی تودوخه، د تجهیزاتو د اوږدمهاله عملیاتو څخه د تودوخې ضایع کیدل، او د ورکشاپ چاپیریال د تودوخې بدلون ټول کولی شي د تجهیزاتو اجزاو د تودوخې خرابوالي لامل شي. د فلزي موادو د تودوخې پراخیدو ضخامت نسبتا لوړ دی (تقریبا 12×10⁻⁶/℃). کله چې تودوخه د 5 ℃ لخوا بدلون ومومي، د 1 متر اوږد فلزي اساس ممکن د 60μm خرابوالي سره مخ شي، چې د پرې کولو موقعیت بدلوي او په جدي توګه د پرې کولو دقت اغیزمن کوي.
د ګرانایټ اساس د تودوخې پراخېدو ضریب یوازې (4-8) ×10⁻⁶/℃ دی، کوم چې د فلزي موادو د دریمې برخې څخه کم دی. د ورته تودوخې بدلون لاندې، د هغې ابعادي بدلون تقریبا له پامه غورځول کیدی شي. د یو ځانګړي سیمیکمډکټر تولیدي تصدۍ اندازه شوي معلومات ښیې چې د 8 ساعتونو دوامداره لوړ شدت ویفر پرې کولو عملیاتو په جریان کې، کله چې د محیطي تودوخې 10 ℃ بدلون ومومي، د ګرانایټ اساس سره د تجهیزاتو د پرې کولو موقعیت له 20μm څخه کم وي، پداسې حال کې چې د فلزي اساس سره د تجهیزاتو د پرې کولو موقعیت له 60μm څخه ډیر وي. دا باثباته حرارتي فعالیت ډاډ ورکوي چې د پرې کولو وسیلې او ویفر ترمنځ نسبي موقعیت په هر وخت کې دقیق پاتې کیږي. حتی د اوږدې مودې دوامداره عملیاتو یا د چاپیریال تودوخې کې د سخت بدلونونو لاندې، د پرې کولو دقت ثبات ساتل کیدی شي.
سختۍ او د اغوستلو مقاومت: د تجهیزاتو اوږدمهاله باثباته عملیات ډاډمن کړئ
د وایبریشن مقاومت او تودوخې ثبات د ګټو سربیره، د ګرانایټ بیس لوړ سختی او د اغوستلو مقاومت د ویفر پرې کولو تجهیزاتو اعتبار نور هم زیاتوي. ګرانایټ د موهس پیمانه کې له 6 څخه تر 7 پورې سختوالی او د 120MPa څخه ډیر فشاري ځواک لري. دا کولی شي د پرې کولو پروسې په جریان کې د سخت فشار او اغیز ځواک سره مقاومت وکړي او د خرابیدو خطر نلري. په ورته وخت کې، د هغې ګڼ جوړښت دا د غوره اغوستلو مقاومت سره ورکوي. حتی د پرله پسې پرې کولو عملیاتو په جریان کې، د بیس سطحه د اغوستلو خطر نلري، ډاډ ترلاسه کوي چې تجهیزات د اوږدې مودې لپاره لوړ دقیق عملیات ساتي.
په عملي غوښتنلیکونو کې، ډیری ویفر تولیدونکو شرکتونو د ګرانایټ بیس سره د پرې کولو تجهیزاتو په غوره کولو سره د محصول حاصلات او د تولید موثریت د پام وړ ښه کړی دی. د نړیوال مخکښ فاونډري معلومات ښیې چې د ګرانایټ بیس تجهیزاتو معرفي کولو وروسته، د ویفر پرې کولو حاصلات له 88٪ څخه 95٪ ته لوړ شوي، د تجهیزاتو ساتنې دوره درې ځله غځول شوې، په مؤثره توګه د تولید لګښتونه کموي او د بازار سیالي لوړوي.
په پایله کې، د ګرانایټ اساس، د خپل غوره وایبریشن مقاومت، تودوخې ثبات، لوړ سختۍ او د اغوستلو مقاومت سره، د ویفر پرې کولو تجهیزاتو لپاره جامع فعالیت تضمین چمتو کوي. لکه څنګه چې د سیمیکمډکټر ټیکنالوژي د لوړ دقت په لور پرمختګ کوي، د ګرانایټ اساسات به د ویفر تولید په برخه کې ډیر مهم رول ولوبوي، د سیمیکمډکټر صنعت دوامداره نوښتګر پرمختګ ته وده ورکوي.