د دقیق اندازه کولو په برخه کې، د ګرانایټ دقیق پلیټ فارم د خپل غوره ثبات، لوړ سختۍ او ښه پوښاک مقاومت سره، د ډیری لوړ دقیق اندازه کولو کارونو لپاره مثالی بنسټ ملاتړ ګرځیدلی. په هرصورت، د چاپیریال فکتورونو کې د تودوخې بدلونونه، لکه "دقیق قاتل" چې په تیاره کې پټ دی، د ګرانایټ دقیق پلیټ فارم د اندازه کولو دقت باندې غیر پام وړ اغیزه لري. د اندازه کولو کار دقت او اعتبار ډاډمن کولو لپاره د نفوذ حد په ژوره توګه وڅیړل خورا مهم دي.
که څه هم ګرانایټ د خپل ثبات لپاره پیژندل کیږي، خو د تودوخې بدلونونو څخه خوندي نه دی. د هغې اصلي برخې کوارټز، فیلډسپار او نور منرالونه دي، کوم چې به په مختلفو تودوخې کې د تودوخې پراختیا او انقباض پدیده تولید کړي. کله چې د محیطي تودوخې درجه لوړه شي، د ګرانایټ دقیق پلیټ فارم تودوخه کیږي او پراخیږي، او د پلیټ فارم اندازه به یو څه بدلون ومومي. کله چې تودوخه راټیټه شي، نو دا به بیرته خپل اصلي حالت ته راټیټ شي. داسې ښکاري چې د اندازې کوچني بدلونونه په هغو مهمو فکتورونو کې لوی کیدی شي چې د دقیق اندازه کولو سناریوګانو کې د اندازه کولو پایلو اغیزه کوي.
د مثال په توګه د ګرانایټ پلیټ فارم سره د همغږۍ د اندازه کولو عام وسیله واخلئ، د لوړ دقت اندازه کولو دنده کې، د اندازه کولو دقت اړتیاوې ډیری وختونه د مایکرون کچې یا حتی لوړې ته رسیږي. داسې انګیرل کیږي چې د 20 ℃ معیاري تودوخې کې، د پلیټ فارم مختلف ابعادي پیرامیټرې په مثالي حالت کې دي، او دقیق معلومات د ورک پیس اندازه کولو له لارې ترلاسه کیدی شي. کله چې د محیطي تودوخې بدلون راشي، وضعیت خورا توپیر لري. د تجربوي معلوماتو احصایو او تیوریکي تحلیلونو لوی شمیر وروسته، په نورمال شرایطو کې، د چاپیریال د تودوخې بدلون 1 ℃، د ګرانایټ دقیق پلیټ فارم خطي پراختیا یا انقباض شاوخوا 5-7 ×10⁻⁶/℃ دی. دا پدې مانا ده چې د ګرانایټ پلیټ فارم لپاره چې د 1 مترو اړخ اوږدوالی لري، د اړخ اوږدوالی ممکن د 5-7 مایکرون لخوا بدل شي که چیرې تودوخه 1 ° C بدله شي. په دقیق اندازه کولو کې، د اندازې دا ډول بدلون د منلو وړ حد څخه هاخوا د اندازه کولو غلطیو رامینځته کولو لپاره کافي دی.
د اندازه کولو کار لپاره چې د مختلفو دقت کچو لخوا اړین دی، د تودوخې د بدلون د نفوذ حد هم توپیر لري. په عادي دقیق اندازه کولو کې، لکه د میخانیکي برخو د اندازې اندازه کول، که چیرې د اندازه کولو اجازه ورکړل شوې تېروتنه د ±20 مایکرون دننه وي، د پورته پراخوالي کوفیفینټ محاسبې سره سم، د تودوخې بدلون باید د ± 3-4 ℃ په حد کې کنټرول شي، ترڅو د پلیټ فارم د اندازې بدلون له امله د منلو وړ کچې کې د اندازه کولو تېروتنه کنټرول شي. په هغو سیمو کې چې د لوړ دقیق اړتیاو سره وي، لکه د سیمیکمډکټر چپ تولید کې د لیتوګرافي پروسې اندازه کول، تېروتنه د ±1 مایکرون دننه اجازه لري، او د تودوخې بدلون باید په کلکه د ± 0.1-0.2 ° C دننه کنټرول شي. یوځل چې د تودوخې بدلون له دې حد څخه تیر شي، د ګرانایټ پلیټ فارم حرارتي پراختیا او انقباض ممکن د اندازه کولو پایلو کې انحراف رامینځته کړي، کوم چې به د چپ تولید حاصل اغیزمن کړي.
د ګرانایټ دقیق پلیټ فارم د اندازه کولو دقت باندې د محیطي تودوخې د بدلون اغیزې سره د مقابلې لپاره، ډیری وختونه په عملي کار کې ډیری اقدامات غوره کیږي. د مثال په توګه، د اندازه کولو چاپیریال کې د لوړ دقیق ثابت تودوخې تجهیزات نصب شوي ترڅو د تودوخې بدلون په خورا کوچني حد کې کنټرول کړي؛ د تودوخې جبران د اندازه کولو معلوماتو باندې ترسره کیږي، او د اندازه کولو پایلې د سافټویر الګوریتم لخوا د پلیټ فارم د تودوخې پراختیا کوفیفینټ او د ریښتیني وخت د تودوخې بدلونونو سره سم سم کیږي. په هرصورت، مهمه نده چې کوم اقدامات ترسره شي، د ګرانایټ دقیق پلیټ فارم د اندازه کولو دقت باندې د محیطي تودوخې د بدلونونو اغیزې دقیق درک د دقیق او باوري اندازه کولو کار ډاډمن کولو اساس دی.
د پوسټ وخت: اپریل-۰۳-۲۰۲۵