د سیمیکمډکټر تولید په برخه کې، دقت د محصول کیفیت او فعالیت ژوند لیک دی. د سیمیکمډکټر میټرینګ تجهیزات، د تولید دقت ډاډمن کولو لپاره د یوې مهمې اړیکې په توګه، د خپلو اصلي برخو ثبات باندې نږدې سخت اړتیاوې وضع کوي. د دوی په منځ کې، د ګرانایټ پلیټ فارم، د خپل غوره حرارتي ثبات سره، د سیمیکمډکټر میټرینګ تجهیزاتو کې یو لازمي رول لوبوي. دا مقاله به د اصلي ازموینې معلوماتو له لارې د سیمیکمډکټر میټرینګ تجهیزاتو کې د ګرانایټ پلیټ فارمونو د حرارتي ثبات فعالیت ژور تحلیل ترسره کړي.
د سیمیکمډکټر تولید کې د اندازه کولو تجهیزاتو د حرارتي ثبات لپاره سخت اړتیاوې
د سیمیکمډکټر د تولید پروسه خورا پیچلې او دقیقه ده، او په چپ کې د سرکټ لاینونو پلنوالی د نانومیټر کچې ته رسیدلی دی. په داسې لوړ دقت تولیدي پروسې کې، حتی د تودوخې لږ بدلون کولی شي د تجهیزاتو اجزاو د تودوخې پراختیا او انقباض لامل شي، چې له امله یې د اندازه کولو غلطۍ رامینځته کیږي. د مثال په توګه، د فوتولیتوګرافي پروسې کې، که چیرې د میټر کولو تجهیزاتو د اندازه کولو دقت د 1 نانومیټر لخوا انحراف وکړي، نو دا ممکن جدي ستونزې رامینځته کړي لکه د چپ په سرکټونو کې لنډ سرکټونه یا خلاص سرکټونه، چې د چپ د سکریپ کولو لامل کیږي. د صنعت د معلوماتو احصایو له مخې، د تودوخې په هر 1 ℃ بدلون لپاره، د دودیز فلزي موادو میټر کولو تجهیزاتو پلیټ فارم ممکن د څو نانومیټرونو ابعادي بدلونونو څخه تیر شي. په هرصورت، د سیمیکمډکټر تولید د اندازه کولو دقت ته اړتیا لري چې د ±0.1 نانومیټرونو دننه کنټرول شي، کوم چې د تودوخې ثبات د دې ټاکلو لپاره یو مهم فاکتور ګرځوي چې ایا د میټر کولو تجهیزات کولی شي د سیمیکمډکټر تولید غوښتنې پوره کړي.
د ګرانایټ پلیټ فارمونو د حرارتي ثبات نظري ګټې
ګرانایټ، د یو ډول طبیعي ډبرې په توګه، یو کمپیکٹ داخلي معدني کرسټالیزیشن، یو غلیظ او یونیفورم جوړښت لري، او د تودوخې ثبات طبیعي ګټه لري. د تودوخې پراختیا د ضخامت له مخې، د ګرانایټ د تودوخې پراختیا ضخامت خورا ټیټ دی، عموما د 4.5 څخه تر 6.5×10⁻⁶/K پورې وي. برعکس، د عام فلزي موادو لکه المونیم الیاژونو د تودوخې پراختیا ضخامت د 23.8×10⁻⁶/K پورې لوړ دی، کوم چې د ګرانایټ څخه څو ځله دی. دا پدې مانا ده چې د ورته تودوخې بدلون شرایطو لاندې، د ګرانایټ پلیټ فارم ابعادي بدلون د فلزي پلیټ فارم په پرتله خورا کوچنی دی، کوم چې کولی شي د سیمیکمډکټر میټرینګ تجهیزاتو لپاره د اندازه کولو ډیر مستحکم حواله چمتو کړي.
برسېره پردې، د ګرانایټ کرسټال جوړښت دا د تودوخې د لیږد غوره یووالي سره مرسته کوي. کله چې د تجهیزاتو عملیات تودوخه تولیدوي یا د چاپیریال تودوخه بدلیږي، د ګرانایټ پلیټ فارم کولی شي په چټکۍ او مساوي ډول تودوخه لرې کړي، د ځایی ډیر تودوخې یا ډیر یخولو پیښې څخه مخنیوی وکړي، په دې توګه په مؤثره توګه د پلیټ فارم د تودوخې ټولیز ثبات ساتي او د اندازه کولو دقت ثبات نور هم ډاډمن کوي.
د تودوخې ثبات اندازه کولو پروسه او طریقه
د سیمیکمډکټر میټرینګ تجهیزاتو کې د ګرانایټ پلیټ فارم د تودوخې ثبات په سمه توګه ارزولو لپاره، موږ د اندازه کولو یوه سخته سکیم ډیزاین کړې ده. د لوړ دقیق سیمیکمډکټر ویفر اندازه کولو وسیله غوره کړئ، کوم چې د خورا دقیق پروسس شوي ګرانایټ پلیټ فارم سره سمبال وي. په تجربوي چاپیریال کې، د سیمیکمډکټر تولید ورکشاپ کې د تودوخې د توپیر عام حد سمول شوی و، دا دی، په تدریجي ډول له 20 ℃ څخه تر 35 ℃ پورې تودوخه او بیا بیرته 20 ℃ ته سړه کول. ټوله پروسه 8 ساعته دوام وکړ.
د اندازه کولو وسیلې په ګرانایټ پلیټ فارم کې، د لوړ دقت معیاري سیلیکون ویفرونه ځای په ځای شوي، او د نانو پیمانه دقت سره د بې ځایه کیدو سینسرونه د سیلیکون ویفرونو او پلیټ فارم ترمنځ د نسبي موقعیت بدلونونو د څارنې لپاره کارول کیږي. په ورته وخت کې، د لوړ دقت ډیری د تودوخې سینسرونه په پلیټ فارم کې په مختلفو موقعیتونو کې تنظیم شوي ترڅو د پلیټ فارم په سطحه د تودوخې ویش وڅاري. د تجربې په جریان کې، د بې ځایه کیدو معلومات او د تودوخې معلومات په هرو 15 دقیقو کې ثبت شوي ترڅو د معلوماتو بشپړتیا او دقت ډاډمن شي.
اندازه شوي معلومات او د پایلو تحلیل
د تودوخې بدلونونو او د پلیټ فارم د اندازې بدلونونو ترمنځ اړیکه
تجربوي معلومات ښیي چې کله تودوخه له 20 درجو څخه تر 35 درجو پورې لوړه شي، د ګرانایټ پلیټ فارم د خطي اندازې بدلون خورا کوچنی دی. د محاسبې وروسته، د تودوخې په ټوله پروسه کې، د پلیټ فارم اعظمي خطي پراخوالی یوازې 0.3 نانومیټر دی، کوم چې د سیمیکمډکټر تولید پروسو کې د اندازه کولو دقت لپاره د غلطۍ زغم حد څخه خورا ټیټ دی. د یخولو مرحلې په جریان کې، د پلیټ فارم اندازه تقریبا په بشپړ ډول لومړني حالت ته راستنیدلی شي، او د اندازې بدلون ځنډ پدیده له پامه غورځول کیدی شي. د خورا ټیټ ابعادي بدلونونو ساتلو دا ځانګړتیا حتی د پام وړ تودوخې بدلونونو لاندې د ګرانایټ پلیټ فارم د پام وړ حرارتي ثبات په بشپړ ډول تاییدوي.
د پلیټ فارم په سطحه د تودوخې د یووالي تحلیل
د تودوخې سینسر لخوا راټول شوي معلومات ښیې چې د تجهیزاتو د عملیاتو او د تودوخې د بدلون پروسې په جریان کې، د ګرانایټ پلیټ فارم په سطحه د تودوخې ویش خورا یو شان دی. حتی د هغه مرحلې په جریان کې چې تودوخه په خورا شدت سره بدلیږي، د پلیټ فارم په سطحه د هر اندازه کولو نقطې ترمنځ د تودوخې توپیر تل د ±0.1 ℃ دننه کنټرول کیږي. د تودوخې یونیفورم ویش په مؤثره توګه د پلیټ فارم د خرابوالي څخه مخنیوی کوي چې د غیر مساوي تودوخې فشار له امله رامینځته کیږي، د اندازه کولو حوالې سطحې فلیټ او ثبات ډاډمن کوي، او د سیمیکمډکټر میټرولوژي تجهیزاتو لپاره د باور وړ اندازه کولو چاپیریال چمتو کوي.
د دودیزو موادو پلیټ فارمونو سره پرتله کول
د ګرانایټ پلیټ فارم اندازه شوي معلومات د ورته ډول سیمیکمډکټر میټرینګ تجهیزاتو سره پرتله شوي چې د المونیم الیاژ پلیټ فارم کاروي، او توپیرونه د پام وړ وو. د ورته تودوخې بدلون شرایطو لاندې، د المونیم الیاژ پلیټ فارم خطي پراختیا تر 2.5 نانومیټرو پورې لوړه ده، کوم چې د ګرانایټ پلیټ فارم څخه اته ځله ډیر دی. په ورته وخت کې، د المونیم الیاژ پلیټ فارم په سطحه د تودوخې ویش غیر مساوي دی، د اعظمي تودوخې توپیر 0.8 ℃ ته رسیږي، چې پایله یې د پلیټ فارم څرګند خرابوالی او د اندازه کولو دقت په جدي توګه اغیزمن کوي.
د سیمیکمډکټر میټرولوژي تجهیزاتو په دقیقه نړۍ کې، د ګرانایټ پلیټ فارمونه، د دوی د پام وړ حرارتي ثبات سره، د اندازه کولو دقت ډاډمن کولو کې اصلي اساس ګرځیدلی. اندازه شوي معلومات په کلکه د تودوخې بدلونونو ته ځواب ویلو کې د ګرانایټ پلیټ فارم غوره فعالیت ثابتوي، د سیمیکمډکټر تولید صنعت لپاره د باور وړ تخنیکي ملاتړ چمتو کوي. لکه څنګه چې د سیمیکمډکټر تولید پروسې د لوړ دقت په لور پرمختګ کوي، د ګرانایټ پلیټ فارمونو د حرارتي ثبات ګټه به په زیاتیدونکي توګه مشهوره شي، په دوامداره توګه په صنعت کې ټیکنالوژیکي نوښت او پرمختګ پرمخ وړي.
د پوسټ وخت: می-۱۳-۲۰۲۵