د ګرانایټ دقیق پلیټ فارمونه، د دوی د لوړ سختۍ، ټیټ پراخوالي کوفیفینټ، غوره ډمپینګ فعالیت او طبیعي ضد مقناطیسي ملکیتونو سره، د لوړ پای تولید او ساینسي څیړنو برخو کې د نه بدلیدونکي غوښتنلیک ارزښت لري چیرې چې دقت او ثبات ډیره غوښتنه کیږي. لاندې د دې اصلي غوښتنلیک سناریوګانې او تخنیکي ګټې دي:
I. د الټرا دقیق پروسس تجهیزاتو ساحه
د سیمیکمډکټر جوړولو تجهیزات
د غوښتنلیک سناریوګانې: د لیتوګرافي ماشین ورک پیس میز، د ویفر ډایسینګ ماشین اساس، د بسته بندۍ تجهیزاتو موقعیت پلیټ فارم.
تخنیکي ارزښت:
د ګرانایټ د تودوخې پراخېدو ضخامت یوازې (0.5-1.0) ×10⁻⁶/℃ دی، کوم چې کولی شي د لیتوګرافي ماشین د نانو پیمانه افشا کیدو پرمهال د تودوخې بدلون سره مقاومت وکړي (د ±0.1℃ چاپیریال کې د بې ځایه کیدو تېروتنه < 0.1nm).
د داخلي مایکرو-سور جوړښت طبیعي ډمپینګ جوړوي (د ډمپینګ تناسب 0.05 څخه تر 0.1 پورې)، د ډایسینګ ماشین لخوا د لوړ سرعت پرې کولو پرمهال د وایبریشن (طول البلد < 2μm) فشاروي او ډاډ ترلاسه کوي چې د ویفر پرې کولو د څنډې ناهموارۍ Ra له 1μm څخه کم وي.
۲. د دقیق پیس کولو ماشینونه او د همغږۍ اندازه کولو ماشینونه (CMM)
د غوښتنلیک قضیه:
د درې همغږۍ اندازه کولو ماشین اساس د ±0.5μm/m فلیټنس سره یو بشپړ ګرانایټ جوړښت غوره کوي. د هوا د تیریدونکي لارښود ریل سره یوځای، دا د نانو کچې حرکت دقت ترلاسه کوي (د تکرار موقعیت دقت ±0.1μm).
د آپټیکل ګرینډینګ ماشین کاري میز د ګرانایټ او سپینو زرو فولادو مرکب جوړښت غوره کوي. کله چې د K9 شیشې پیس کړئ، د سطحې څپې د λ/20 (λ=632.8nm) څخه کمې وي، چې د لیزر لینزونو خورا اسانه پروسس اړتیاوې پوره کوي.
II. د نظرياتو او فوتونیکونو ساحه
ستورپوهنیزې دوربینونه او لیزر سیسټمونه
عادي غوښتنلیکونه:
د لوی راډیو ټیلسکوپ د انعکاس سطحې ملاتړ پلیټ فارم د ګرانایټ شاتو د ټوټې جوړښت غوره کوي، کوم چې په ځان وزن کې سپک دی (کثافت 2.7g/cm³) او د باد قوي کمپن مقاومت لري (د 10 درجې باد لاندې د 50μm څخه کم خرابوالی).
د لیزر انټرفیرومیټر نظری پلیټ فارم د مایکرو پورس ګرانایټ څخه کار اخلي. انعکاس کوونکی د ویکیوم جذب له لارې تنظیم شوی، د 5nm څخه کم د فلیټنس غلطی سره، د الټرا دقیق نظری تجربو لکه د جاذبې څپې کشف ثبات تضمینوي.
2. دقیق نظری برخې پروسس کول
تخنیکي ګټې:
د ګرانایټ پلیټ فارم مقناطیسي نفوذ او بریښنایی چالکتیا صفر ته نږدې ده، د دقیق پروسو لکه د آیون بیم پالش کولو (IBF) او مقناطیسي پالش کولو (MRF) باندې د بریښنایی مقناطیسي مداخلې اغیزې څخه مخنیوی کوي. د پروسس شوي اسفیکل لینز د سطحې شکل دقت PV ارزښت λ/100 ته رسیدلی شي.
II. د فضايي او دقیق تفتیش
د هوايي چلند برخې تفتیش پلیټ فارم
د غوښتنلیک سناریوګانې: د الوتکې تیغونو درې اړخیزه تفتیش، د الوتنې المونیم الیاژ ساختماني اجزاو د شکل او موقعیت زغم اندازه کول.
کلیدي فعالیت:
د ګرانایټ پلیټ فارم سطحه د الکترولیټیک زنګ په واسطه درملنه کیږي ترڅو ښه نمونې رامینځته کړي (د Ra 0.4-0.8μm د ناهموارۍ سره)، د لوړ دقیق ټریګر پروبونو لپاره مناسب، او د تیغ پروفایل کشف کولو تېروتنه له 5μm څخه کمه ده.
دا کولی شي د 200 کیلوګرامو څخه ډیر د هوایی اجزاو بار سره مقاومت وکړي، او د اوږدې مودې کارونې وروسته د فلیټنس بدلون له 2μm/m څخه کم دی، چې د فضا صنعت کې د 10 درجې دقیق ساتنې اړتیاوې پوره کوي.
۲. د انرشیل نیویګیشن اجزاو کیلیبریشن
تخنیکي اړتیاوې: د ګیروسکوپونو او اکسلرومیټرونو په څیر د انرشیل وسیلو جامد کیلیبریشن لپاره یو خورا مستحکم حوالې پلیټ فارم ته اړتیا ده.
حل: د ګرانایټ پلیټ فارم د فعال کمپن جلا کولو سیسټم (طبیعي فریکونسۍ < 1Hz) سره یوځای شوی، د کمپن سرعت < 1×10⁻⁴g سره په چاپیریال کې د 0.01°/h < 0.01°/h د انرشیل اجزاو د صفر آفسیټ ثبات لوړ دقیق کیلیبریشن ترلاسه کوي.
څلورم نانو ټیکنالوژي او بایومیډیسن
د سکیننګ پروب مایکروسکوپ (SPM) پلیټ فارم
اصلي دنده: د اټومي ځواک مایکروسکوپي (AFM) او سکیننګ تونل مایکروسکوپي (STM) لپاره د اساس په توګه، دا باید د چاپیریالي کمپنونو او تودوخې څپو څخه جلا شي.
د فعالیت شاخصونه:
د ګرانایټ پلیټ فارم، د نیوماتیک وایبریشن جلا کولو پښو سره په ترکیب کې، کولی شي د بهرني وایبریشنونو (1-100Hz) د لیږد کچه له 5٪ څخه کمه کړي، په اتموسفیر چاپیریال کې د AFM د اټومي کچې امیجنگ ترلاسه کړي (د 0.1nm ریزولوشن).
د تودوخې حساسیت له 0.05μm/℃ څخه کم دی، کوم چې د ثابت تودوخې (37℃±0.1℃) چاپیریال کې د بیولوژیکي نمونو د نانو پیمانه مشاهدې اړتیاوې پوره کوي.
۲. د بایوچپ بسته بندۍ تجهیزات
د غوښتنلیک قضیه: د DNA ترتیب کولو چپس لپاره د لوړ دقیق سمون پلیټ فارم د ګرانایټ هوا کې تیرونکي لارښود ریلونه غوره کوي، د ±0.5μm موقعیت دقت سره، د مایکرو فلوایډیک چینل او کشف الکترود ترمنځ فرعي مایکرون اړیکه ډاډمن کوي.
V. د غوښتنلیکونو راڅرګندېدونکي سناریوګانې
د کوانټم کمپیوټري تجهیزاتو اساس
تخنیکي ننګونې: د کیوبیټ لاسوهنه خورا ټیټې تودوخې (mK کچه) او یو خورا باثباته میخانیکي چاپیریال ته اړتیا لري.
حل: د ګرانایټ خورا ټیټ حرارتي توسعې ملکیت (د توسعې کچه < 1ppm له -200 ℃ څخه د خونې تودوخې ته) کولی شي د الټرا ټیټ تودوخې سوپر کنډکټینګ مقناطیسونو انقباض ځانګړتیاو سره سمون ولري، د کوانټم چپس بسته بندۍ پرمهال د سمون دقت ډاډمن کړي.
۲. د الکترون بیم لیتوګرافي (EBL) سیسټم
کلیدي فعالیت: د ګرانایټ پلیټ فارم د موصلیت ملکیت (مقاومت > 10¹³Ω · m) د الکترون بیم د خپریدو مخه نیسي. د الیکټروسټاټیک سپینډل ډرایو سره یوځای، دا د نانو پیمانه لاین پلنوالی (< 10nm) سره د لوړ دقیق لیتوګرافي نمونې لیکلو ترلاسه کوي.
لنډیز
د ګرانایټ دقیق پلیټ فارمونو کارول د دودیز دقیق ماشینونو څخه تر عصري برخو لکه نانو ټیکنالوژۍ، کوانټم فزیک، او بایومیډیسن پورې غځیدلي دي. د دې اصلي سیالي د موادو ملکیتونو او انجینرۍ اړتیاو ژورې یوځای کولو کې ده. په راتلونکي کې، د مرکب تقویه کولو ټیکنالوژیو (لکه ګرافین-ګرانایټ نانوکمپوزیټونه) او هوښیار سینسنګ ټیکنالوژیو ادغام سره، ګرانایټ پلیټ فارمونه به د اټومي کچې دقت، د تودوخې بشپړ حد ثبات، او څو اړخیز ادغام په لارښوونو کې مات شي، چې د الټرا دقیق تولید راتلونکي نسل ملاتړ کونکي اصلي اساسي برخې شي.
د پوسټ وخت: می-۲۸-۲۰۲۵