د سیمیکمډکټر ویفر تفتیش په برخه کې، د پاک خونې چاپیریال پاکوالی په مستقیم ډول د محصول حاصلاتو سره تړاو لري. لکه څنګه چې د چپ تولید پروسو دقیقیت ښه کیږي، د کشف تجهیزاتو د بار وړلو پلیټ فارمونو اړتیاوې په زیاتیدونکي توګه سخت کیږي. د ګرانایټ پلیټ فارمونه، د صفر فلزي ایون خوشې کولو او ټیټ ذراتو ککړتیا ځانګړتیاو سره، د دودیز سټینلیس سټیل موادو څخه تیر شوي او د ویفر تفتیش تجهیزاتو لپاره غوره حل ګرځیدلی.
ګرانایټ یوه طبیعي اور لرونکې ډبره ده چې په عمده توګه د غیر فلزي منرالونو لکه کوارټز، فیلډسپار او میکا څخه جوړه شوې ده. دا ځانګړتیا دې ته د صفر فلزي ایون خوشې کیدو ګټه ورکوي. برعکس، سټینلیس سټیل، د اوسپنې، کرومیم او نکل په څیر فلزاتو د مصر په توګه، د پاک خونې چاپیریال کې د اوبو بخار او تیزابي یا الکلین ګازونو د تخریب له امله په خپل سطح کې د الکترو کیمیکل زنګ سره مخ دی، چې په پایله کې د فلزي ایونونو لکه Fe²⁺ او Cr³⁺ باران رامینځته کیږي. یوځل چې دا کوچني ایونونه د ویفر سطحې سره وصل شي، دوی به د فوتولیتوګرافي او ایچینګ په څیر راتلونکو پروسو کې د سیمیکمډکټر موادو بریښنایی ملکیتونه بدل کړي، د ټرانزیسټر د حد ولټاژ ډریفت لامل شي، او حتی په سرکټ کې لنډ سرکټونه رامینځته کړي. د مسلکي ادارې ازموینې معلومات ښیې چې وروسته له هغه چې ګرانایټ پلیټ فارم په دوامداره توګه د 1000 ساعتونو لپاره د نقل شوي پاک خونې تودوخې او رطوبت چاپیریال (23±0.5℃، 45%±5% RH) سره مخ شو، د فلزي ایونونو خوشې کیدل د کشف حد (<0.1ppb) څخه ټیټ وو. د سټینلیس سټیل پلیټ فارمونو کارولو پرمهال د فلزي ایون ککړتیا له امله د ویفرونو د نیمګړتیا کچه له 15٪ څخه تر 20٪ پورې لوړه کیدی شي.
د ذراتو د ککړتیا کنټرول په برخه کې، د ګرانایټ پلیټ فارمونه هم په استثنایی ډول ښه فعالیت کوي. پاکې خونې په هوا کې د تعلیق شوي ذراتو غلظت لپاره خورا لوړې اړتیاوې لري. د مثال په توګه، د ISO کلاس 1 پاکو خونو کې، د هر مکعب متر لپاره د 0.1μm ذراتو شمیر له 10 څخه ډیر نه وي. حتی که د سټینلیس سټیل پلیټ فارم د پالش کولو درملنه کړې وي، دا ممکن لاهم د بهرني ځواکونو لکه د تجهیزاتو کمپن او پرسونل عملیاتو له امله د فلزي کثافات یا د اکسایډ پیمانه خلاصیدل تولید کړي، کوم چې کولی شي د کشف نظری لارې سره مداخله وکړي یا د ویفر سطح سکریچ کړي. د ګرانایټ پلیټ فارمونه، د دوی د کثافت معدني جوړښت (کثافت ≥2.7g/cm³) او لوړ سختۍ (په Mohs پیمانه 6-7) سره، د اوږدې مودې کارونې پرمهال د اغوستلو یا ماتیدو خطر نلري. اندازه شوي اندازه ښیي چې دوی کولی شي د کشف تجهیزاتو ساحې په هوا کې د تعلیق شوي ذراتو غلظت د سټینلیس سټیل پلیټ فارمونو په پرتله له 40٪ څخه ډیر کم کړي، په مؤثره توګه د پاکو خونو درجې معیارونه ساتي.
د دې پاکو ځانګړتیاو سربیره، د ګرانایټ پلیټ فارمونو جامع فعالیت هم د سټینلیس سټیل څخه ډیر دی. د تودوخې ثبات له مخې، د تودوخې پراختیا ضخامت یې یوازې (4-8) × 10⁻⁶/℃ دی، چې د سټینلیس سټیل له نیمایي څخه کم دی (شاوخوا 17×10⁻⁶/℃)، کوم چې کولی شي د کشف تجهیزاتو د موقعیت دقت په ښه توګه وساتي کله چې په پاکه خونه کې تودوخه بدلون مومي. د لوړ ډمپ کولو ځانګړتیا (د ډمپ کولو تناسب> 0.05) کولی شي د تجهیزاتو کمپن په چټکۍ سره کم کړي او د کشف پروب د ټکان مخه ونیسي. د دې طبیعي زنګ مقاومت دا توان ورکوي چې حتی کله چې د فوتو ریسیسټ محلولونو، ایچینګ ګازونو او نورو کیمیاوي موادو سره مخ کیږي پرته له دې چې اضافي کوټینګ محافظت ته اړتیا ولري مستحکم پاتې شي.
اوس مهال، د ګرانایټ پلیټ فارمونه په پراخه کچه د ویفر تولید پرمختللو فابریکو کې کارول کیږي. معلومات ښیې چې د ګرانایټ پلیټ فارم له غوره کولو وروسته، د ویفر سطحې ذراتو کشف کولو کې د غلط فهمۍ کچه 60٪ کمه شوې، د تجهیزاتو کیلیبریشن دوره درې ځله غځول شوې، او د تولید ټول لګښت 25٪ کم شوی. لکه څنګه چې د سیمیکمډکټر صنعت د لوړ دقت په لور حرکت کوي، د ګرانایټ پلیټ فارمونه، د دوی اصلي ګټو لکه د صفر فلزي ایون خوشې کول او د ټیټ ذراتو ککړتیا سره، به د ویفر تفتیش لپاره باثباته او باوري ملاتړ چمتو کولو ته دوام ورکړي، چې د صنعت پرمختګ پرمخ وړي یو مهم ځواک شي.
د پوسټ وخت: می-۲۰-۲۰۲۵