د سیمیکمډکټر تولید ورکشاپ کې، د چاپیریال شرایطو او تجهیزاتو دقت لپاره د چپ تولید پروسې اړتیاوې خورا ډیرې دي، او هر ډول لږ انحراف ممکن د چپ حاصل کې د پام وړ کمښت لامل شي. د XYZT دقیق ګینټري حرکت پلیټ فارم د ګرانایټ اجزاو باندې تکیه کوي ترڅو د پلیټ فارم نورو برخو سره همکاري وکړي ترڅو د نانو پیمانه دقت ترلاسه کولو لپاره قوي بنسټ جوړ کړي.
د وایبریشن مخنیوي غوره ځانګړتیاوې
د سیمیکمډکټر تولید ورکشاپ کې، د پردیو تجهیزاتو او شاوخوا ګرځیدونکو پرسونل عملیات ممکن د وایبریشن لامل شي. د ګرانایټ اجزاو داخلي جوړښت کثافت او یونیفورم دی، د طبیعي لوړ ډمپینګ ځانګړتیاو سره، لکه د اغیزمن وایبریشن "خنډ" په څیر. کله چې بهرنۍ وایبریشن XYZT پلیټ فارم ته لیږدول کیږي، د ګرانایټ برخه کولی شي په مؤثره توګه د وایبریشن انرژي له 80٪ څخه ډیر کم کړي او د پلیټ فارم حرکت دقت کې د وایبریشن مداخله کمه کړي. په ورته وخت کې، پلیټ فارم د لوړ دقیق هوا فلوټ لارښود سیسټم سره سمبال دی، کوم چې د ګرانایټ اجزاو سره په ګډه کار کوي. د هوا فلوټ لارښود د لوړ فشار ګاز لخوا رامینځته شوی مستحکم ګاز فلم کاروي ترڅو د پلیټ فارم د حرکت کونکو برخو د تماس پرته تعلیق حرکت احساس کړي او د میخانیکي رګونو له امله رامینځته شوي کوچني وایبریشن کم کړي. په ګډه، دواړه ډاډ ورکوي چې د پلیټ فارم موقعیت دقت تل د نانومیټر په کچه د کلیدي پروسو لکه چپ لیتوګرافي او ایچینګ کې ساتل کیږي، او د وایبریشن له امله رامینځته شوي د چپ سرکټ نمونو انحراف څخه مخنیوی کوي.
غوره حرارتي ثبات
په ورکشاپ کې د تودوخې او رطوبت بدلون د چپ جوړولو تجهیزاتو په دقت باندې لوی تاثیر لري. د ګرانایټ د تودوخې پراخولو ضخامت خورا ټیټ دی، عموما په 5-7 ×10⁻⁶/℃ کې، اندازه یې تقریبا بدله نه وي کله چې تودوخه بدلیږي. حتی که په ورکشاپ کې د ورځې او شپې ترمنځ د تودوخې توپیر یا د تجهیزاتو د تودوخې تولید د محیطي تودوخې د بدلون لامل شي، د ګرانایټ اجزا کولی شي د تودوخې پراخیدو او انقباض له امله د پلیټ فارم د خرابیدو مخنیوي لپاره مستحکم پاتې شي. په ورته وخت کې، د پلیټ فارم سره سمبال د هوښیار تودوخې کنټرول سیسټم په ریښتیني وخت کې د محیطي تودوخې څارنه کوي، په اتوماتيک ډول د هوایی کنډیشن او تودوخې ضایع کولو تجهیزات تنظیموي، او د ورکشاپ تودوخه په 20 ° C ± 1 ° C کې ساتي. د ګرانایټ تودوخې ثبات ګټو سره یوځای، ډاډ ترلاسه کړئ چې پلیټ فارم په اوږدمهاله عملیاتو کې، د هر محور د حرکت دقت تل د چپ تولید نانومیټر دقیق معیارونو سره سمون لري، ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې د چپ لیتوګرافي نمونې اندازه دقیقه ده، د ایچنګ ژوروالی یونیفورم دی.
د پاک چاپیریال اړتیاوې پوره کړئ
د سیمیکمډکټر جوړولو دوکان باید د لوړې کچې پاکوالي وساتي ترڅو د دوړو ذرات د چپ ککړتیا مخه ونیسي. ګرانایټ مواد پخپله دوړې نه تولیدوي، او سطحه نرمه ده، د دوړو جذب کول اسانه ندي. پلیټ فارم په ټولیزه توګه د بهرنۍ دوړو د ننوتلو کمولو لپاره په بشپړ ډول تړل شوی یا نیمه تړل شوی جوړښت ډیزاین غوره کوي. د داخلي هوا گردش سیسټم د ورکشاپ د پاک هوایی کنډیشن سیسټم سره وصل دی ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې د داخلي هوا پاکوالی د چپ تولید لخوا اړین کچې ته رسیږي. پدې پاک چاپیریال کې، د ګرانایټ اجزا به د دوړو د تخریب له امله فعالیت اغیزه ونکړي، او د پلیټ فارم د لوړ دقیق سینسرونو او موټرو په څیر کلیدي برخې هم کولی شي په ثابت ډول کار وکړي، د چپ تولید لپاره دوامداره او باوري نانو پیمانه دقت تضمین چمتو کوي، او د سیمیکمډکټر صنعت سره مرسته کوي چې د لوړې پروسې کچې ته لاړ شي.
د پوسټ وخت: اپریل-۱۴-۲۰۲۵