د سیمیکمډکټر تولید په برخه کې، د اصلي تجهیزاتو په توګه چې د چپ تولید پروسې دقت ټاکي، د فوتولیتوګرافي ماشین د داخلي چاپیریال ثبات خورا مهم دی. د الټرا وایلیټ رڼا سرچینې له هڅونې څخه د نانو پیمانه دقیق حرکت پلیټ فارم عملیاتو پورې، په هر لینک کې هیڅ لږ انحراف نشي کیدی. د ګرانایټ اساسات، د یو لړ ځانګړو ملکیتونو سره، د فوتولیتوګرافي ماشینونو د باثباته عملیاتو ډاډ ترلاسه کولو او د فوتولیتوګرافي دقت لوړولو کې بې ساري ګټې ښیې.
د الکترو مقناطیسي محافظت غوره فعالیت
د فوتولیتوګرافي ماشین داخلي برخه د پیچلي الکترومقناطیسي چاپیریال څخه ډکه ده. الکترومقناطیسي مداخله (EMI) چې د اجزاو لکه د الټرا وایلیټ رڼا سرچینو، ډرایو موټرو، او لوړ فریکونسۍ بریښنا رسولو لخوا رامینځته کیږي، که چیرې په مؤثره توګه کنټرول نشي، نو د تجهیزاتو دننه د دقیق الکترونیکي اجزاو او نظري سیسټمونو فعالیت به په جدي توګه اغیزمن کړي. د مثال په توګه، مداخله ممکن د فوتولیتوګرافي نمونو کې لږ انحرافات رامینځته کړي. په پرمختللو تولیدي پروسو کې، دا کافي ده چې په چپ کې د غلط ټرانزیسټر اتصالاتو لامل شي، چې د چپ حاصلات د پام وړ کموي.
ګرانایټ یو غیر فلزي مواد دی او پخپله بریښنا نه ترسره کوي. د فلزي موادو په څیر د آزادو الکترونونو د حرکت له امله د الکترو مقناطیسي انډکشن پدیده شتون نلري. دا ځانګړتیا دا د طبیعي الکترو مقناطیسي محافظت بدن جوړوي، کوم چې کولی شي په مؤثره توګه د داخلي الکترو مقناطیسي مداخلې د لیږد لاره بنده کړي. کله چې د بهرني الکترو مقناطیسي مداخلې سرچینې لخوا رامینځته شوی بدیل مقناطیسي ساحه د ګرانایټ اساس ته خپریږي، ځکه چې ګرانایټ غیر مقناطیسي دی او مقناطیسي کیدی نشي، بدیل مقناطیسي ساحه ننوتل ستونزمن دي، په دې توګه د فوتولیتوګرافي ماشین اصلي برخې چې په اساس کې نصب شوي، لکه دقیق سینسرونه او د نظري لینز تنظیم کولو وسایل، د برقی مقناطیسي مداخلې له اغیزې څخه ساتي او د فوتولیتوګرافي پروسې په جریان کې د نمونې لیږد دقت ډاډمن کوي.
د خلا غوره مطابقت
ځکه چې د الټرا وایلیټ رڼا (EUV) په اسانۍ سره د ټولو موادو لخوا جذب کیږي، په شمول د هوا، د EUV لیتوګرافي ماشینونه باید په خلا چاپیریال کې کار وکړي. پدې مرحله کې، د خلا چاپیریال سره د تجهیزاتو اجزاو مطابقت په ځانګړي ډول خورا مهم کیږي. په خلا کې، مواد ممکن تحلیل، جذب او ګاز خوشې کړي. خوشې شوی ګاز نه یوازې د EUV رڼا جذبوي، د رڼا شدت او لیږد موثریت کموي، بلکې ممکن نظري لینزونه هم ککړ کړي. د مثال په توګه، د اوبو بخار کولی شي لینزونه اکسیډیز کړي، او هایدروکاربن کولی شي په لینزونو کې د کاربن پرتونه زیرمه کړي، چې د لیتوګرافي کیفیت په جدي توګه اغیزمن کوي.
ګرانایټ باثباته کیمیاوي ځانګړتیاوې لري او په خلا چاپیریال کې په سختۍ سره ګاز خوشې کوي. د مسلکي ازموینو له مخې، په نقل شوي فوتولیتوګرافي ماشین ویکیوم چاپیریال کې (لکه د الټرا پاک ویکیوم چاپیریال چې پکې د روښانتیا نظری سیسټم او د اصلي خونې کې د امیجنگ نظری سیسټم موقعیت لري، د H₂O < 10⁻⁵ Pa، CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa ته اړتیا لري)، د ګرانایټ اساس د ګاز ایستلو کچه خورا ټیټه ده، د نورو موادو لکه فلزاتو په پرتله خورا ټیټه ده. دا د فوتولیتوګرافي ماشین داخلي برخې ته وړتیا ورکوي چې د اوږدې مودې لپاره د لوړې خلا درجې او پاکوالي وساتي، د لیږد پرمهال د EUV رڼا لوړ لیږد او د نظری لینزونو لپاره د الټرا پاک کارونې چاپیریال ډاډمن کړي، د نظری سیسټم خدمت ژوند وغځوي، او د فوتولیتوګرافي ماشین ټولیز فعالیت ته وده ورکړي.
قوي وایبریشن مقاومت او حرارتي ثبات
د فوتولیتوګرافي پروسې په جریان کې، د نانومیټر په کچه دقت ته اړتیا ده چې د فوتولیتوګرافي ماشین باید لږ تر لږه وایبریشن یا حرارتي خرابوالی ونلري. د چاپیریال کمپنونه چې د نورو تجهیزاتو او په ورکشاپ کې د پرسونل حرکت له امله رامینځته کیږي، او همدارنګه د فوتولیتوګرافي ماشین لخوا د عملیاتو په جریان کې تولید شوي تودوخه، ټول ممکن د فوتولیتوګرافي دقت سره مداخله وکړي. ګرانایټ لوړ کثافت او سخت جوړښت لري، او دا د کمپن غوره مقاومت لري. د دې داخلي معدني کرسټال جوړښت کمپیکټ دی، کوم چې کولی شي په مؤثره توګه د کمپن انرژي کمه کړي او په چټکۍ سره د کمپن تکثیر ودروي. تجربوي معلومات ښیې چې د ورته کمپن سرچینې لاندې، د ګرانایټ اساس کولی شي د کمپن طول البلد په 0.5 ثانیو کې له 90٪ څخه ډیر کم کړي. د فلزي اساس سره پرتله کول، دا کولی شي تجهیزات په چټکۍ سره ثبات ته راولي، د فوتولیتوګرافي لینز او ویفر ترمنځ دقیق نسبي موقعیت ډاډمن کړي، او د کمپن له امله رامینځته شوي نمونې تیاره یا غلط تنظیم څخه مخنیوی وکړي.
په عین حال کې، د ګرانایټ د تودوخې پراخېدو ضریب خورا ټیټ دی، تقریبا (4-8) ×10⁻⁶/℃، کوم چې د فلزي موادو په پرتله خورا ټیټ دی. د فوتولیتوګرافي ماشین د عملیاتو په جریان کې، حتی که داخلي تودوخه د رڼا سرچینې څخه د تودوخې تولید او میخانیکي اجزاو څخه د رګیدو په څیر فکتورونو له امله بدلون ومومي، د ګرانایټ اساس کولی شي ابعادي ثبات وساتي او د تودوخې پراخېدو او انقباض له امله به د پام وړ خرابوالي سره مخ نشي. دا د نظري سیسټم او دقیق حرکت پلیټ فارم لپاره باثباته او باوري ملاتړ چمتو کوي، د فوتولیتوګرافي دقت ثبات ساتي.
د پوسټ وخت: می-۲۰-۲۰۲۵