د الټرا دقیق سپورت ماډل د ګرانایټ دقیق اساس لپاره د چاپیریالي تطابق لارښود.

د لوړ پای تولید او عصري ساینسي څیړنو په برخه کې، د هوا د فلوټ الټرا دقیق حرکت ماډل د خپل غوره دقیق فعالیت سره د ښه عملیاتو او اندازه کولو لپاره یو مهم تجهیزات ګرځیدلی. د ګرانایټ دقیق اساس، د ملاتړ کور په توګه، د کاري چاپیریال لپاره سخت اړتیاوې لري، او مناسب چاپیریالي شرایط د دې باثباته فعالیت او غوره اغیز ډاډمن کولو اساس دی.

لومړی، د تودوخې کنټرول: دقیق "ثابت کوونکی"
که څه هم ګرانایټ د خپل ثبات لپاره پیژندل شوی، خو په بشپړه توګه د تودوخې بدلونونو څخه خوندي نه دی. که څه هم د تودوخې د پراختیا ضخامت یې ټیټ دی، عموما 5-7 ×10⁻⁶/℃، د الټرا دقیق حرکت کنټرول سناریوګانو کې، د تودوخې فرعي بدلونونه ممکن لاهم ابعادي بدلونونه رامینځته کړي او د ماډل دقت اغیزه وکړي. د سیمیکمډکټر چپ تولید ورکشاپ کې، د لیتوګرافي پروسه د ډانامي کچې موقعیت دقت ته اړتیا لري، او د محیطي تودوخې 1 ° C بدلون مومي، او د 1 مترو د اړخ اوږدوالی سره د ګرانایټ اساس ممکن د 5-7 مایکرون خطي پراختیا یا انقباض تولید کړي. دا کوچنی بدلون د هوا فلوټ د الټرا دقیق حرکت ماډل لخوا لیږدول کیږي، کوم چې د چپ لیتوګرافي نمونې انحراف کولو او د حاصلاتو د کمولو لپاره کافي دی. له همدې امله، د هوا د تیرونکي الټرا دقیق حرکت ماډل د ګرانایټ دقیق اساس سره سمبال شوی، د مثالي کاري چاپیریال تودوخه باید په 20 ° C ± 1 ° C کې کنټرول شي، د لوړ دقیق ثابت تودوخې تجهیزاتو په مرسته، لکه د تودوخې او رطوبت دوامداره هوایی کنډیشن سیسټم، د محیطي تودوخې دوامداره څارنه او تنظیم کول، ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې د تودوخې بدلونونه په خورا کوچني حد کې وي، د اساس اندازې ثبات وساتي، ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې ماډل لوړ دقیق عملیات کوي.
دوهم، د رطوبت مدیریت: د رطوبت ضد محافظت "ډبره" کلیدي
رطوبت یو بل مهم فکتور دی چې د دقیق ګرانایټ اساس فعالیت اغیزه کوي. په لوړ رطوبت چاپیریال کې، ګرانایټ د اوبو بخار جذبولو لپاره اسانه دی، کوم چې ممکن په سطحه د کنډیشن لامل شي، کوم چې نه یوازې د ګرانایټ او د هوا د فلوټ د الټرا دقیق حرکت ماډل د اتصال ثبات اغیزه کوي، بلکه ممکن د سطحې تخریب لامل شي او په اوږد مهال کې چمک او دقت کم کړي. د آپټیکل لینز ګرینډینګ ورکشاپ کې، که چیرې رطوبت د اوږدې مودې لپاره له 60٪ RH څخه لوړ وي، د ګرانایټ اساس په سطحه جذب شوي د اوبو بخار به د ګاز فلوټ سلائیډر حرکت سره مداخله وکړي، نو د لینز ګرینډینګ دقت کم شي، او سطحه نیمګړتیا وي. له همدې امله، د کاري چاپیریال نسبي رطوبت باید د 40٪-60٪ RH ترمنځ په کلکه کنټرول شي، کوم چې په ریښتیني وخت کې د ډیهومیډیفیرونو، رطوبت سینسرونو او نورو تجهیزاتو نصبولو سره څارل کیدی شي او تنظیم کیدی شي ترڅو د لوړې رطوبت له امله د ګرانایټ اساس ته زیان ونه رسوي، او د هوا د فلوټ د الټرا دقیق حرکت ماډل اسانه عملیات ډاډمن کړي.
دریم، د پاکوالي تضمین: د دقت "ساتونکی"
د هوا د فلوټیشن د الټرا دقیق حرکت ماډل د دقیق ګرانایټ اساس ته د دوړو ذراتو زیان کم نه اټکل کیدی شي. یوځل چې کوچني ذرات د ګاز فلوټ سلائیډر او ګرانایټ اساس ترمنځ د ګاز فلم تشې ته ننوځي، دوی ممکن د ګاز فلم یووالي له منځه یوسي، رګونه زیات کړي، او حتی د اساس سطحه سکریچ کړي، چې په پایله کې د حرکت دقت کم شي. د فضايي برخو د الټرا دقیق ماشین کولو ورکشاپ کې، که چیرې په هوا کې د دوړو ذرات د ګرانایټ اساس باندې راښکته شي، د ماشین کولو وسیلې د حرکت لاره ممکن انحراف شي، چې د برخو د ماشین کولو دقت اغیزه کوي. له همدې امله، د کار ساحه باید ډیره پاکه وساتل شي، د پاکوالي معیارونو 10,000 یا حتی لوړې کچې ته ورسیږي، د هوا پاکولو تجهیزاتو نصبولو له لارې، لکه د لوړ موثریت هوایی فلټرونه (HEPA)، په هوا کې د دوړو ذرات فلټر کړي، په ورته وخت کې، کارمندان اړتیا لري چې د دوړو څخه پاک جامې، د بوټانو پوښونه، او نور واغوندي، ترڅو د انسانانو لخوا راوړل شوي دوړې کمې کړي. د ګرانایټ اساس او د هوا فلوټ الټرا دقیق حرکت ماډل لوړ دقیق عملیاتي چاپیریال وساتئ.

څلورم، د وایبریشن جلا کول: د "شاک پیډ" اسانه عملیات
بهرنۍ وایبریشن د هوا د فلوټ د الټرا دقیق حرکت ماډل د دقت دښمن دی. که څه هم د دقیق ګرانایټ اساس یو ځانګړی د کمپن کمولو وړتیا لري، د لوړ ځواک وایبریشن ممکن لاهم د خپل بفر حد مات کړي. د فابریکې شاوخوا ترافیک او د لوی میخانیکي تجهیزاتو عملیاتو لخوا رامینځته شوی وایبریشن د ځمکې له لارې د ګرانایټ اساس ته لیږدول کیږي، کوم چې به د هوا د فلوټ د الټرا دقیق حرکت ماډل د حرکت دقت سره مداخله وکړي. په لوړ پای CMM کې، وایبریشن ممکن د اندازه کولو پروب او ورک پیس ترمنځ اړیکه د اندازه کولو لپاره بې ثباته کړي، چې پایله یې د اندازه کولو ډیټا انحراف وي. د دې ستونزې د حل لپاره، دا اړینه ده چې د اغیزمن وایبریشن جلا کولو اقدامات غوره کړئ، لکه د تجهیزاتو نصبولو ساحه کې د وایبریشن جلا کولو پیډونه ایښودل، د وایبریشن جلا کولو بنسټ جوړول، یا د فعال وایبریشن جلا کولو سیسټم کارول ترڅو په فعاله توګه بهرني وایبریشن بند کړي، او د ګرانایټ دقیق اساس او د هوا فلوټ الټرا دقیق حرکت ماډل لپاره یو خاموش او باثباته کاري چاپیریال رامینځته کړي.
یوازې د تودوخې، رطوبت، پاکوالي او وایبریشن کنټرول د چاپیریال اړتیاو په بشپړ ډول پوره کولو سره، د هوا د فلوټ د الټرا دقیق حرکت ماډل ګرانایټ دقیق اساس کولی شي د هغې د فعالیت ګټو ته بشپړ رول ورکړي، په مختلفو برخو کې د الټرا دقیق عملیاتو لپاره د باور وړ تضمین چمتو کړي، او صنعت سره مرسته وکړي چې د لوړ دقیق تولید او ساینسي څیړنې کچې ته حرکت وکړي.