د سیمیکمډکټر تولید کې دقت انقلاب: کله چې ګرانایټ د مایکرون ټیکنالوژۍ سره مخ کیږي
۱.۱ د موادو په ساینس کې ناڅاپي موندنې
د ۲۰۲۳ کال د SEMI نړیوال سیمیکمډکټر ټولنې د راپور له مخې، د نړۍ ۶۳٪ پرمختللو فابریکو د دودیزو فلزي پلیټ فارمونو پر ځای د ګرانایټ اساساتو کارول پیل کړي دي. دا طبیعي ډبره، چې د ځمکې په ژورو کې د مګما کنډیشن څخه سرچینه اخلي، د خپلو ځانګړو فزیکي ځانګړتیاو له امله د سیمیکمډکټر تولید تاریخ بیا لیکي:
د تودوخې د جړتیا ګټه: د ګرانایټ 4.5×10⁻⁶/℃ د تودوخې پراخوالي ضخامت د سټینلیس سټیل یوازې 1/5 دی، او د لیتوګرافي ماشین په دوامداره کار کې د ±0.001mm ابعادي ثبات ساتل کیږي.
د وایبریشن ډمپ کولو ځانګړتیاوې: د داخلي رګونو ضریب د کاسټ اوسپنې په پرتله 15 ځله لوړ دی، په مؤثره توګه د تجهیزاتو مایکرو وایبریشن جذبوي.
د صفر مقناطیس کولو طبیعت: په لیزر اندازه کولو کې مقناطیسي تېروتنه په بشپړه توګه له منځه یوسي
۱.۲ د کان څخه تر فابریکې پورې د بدلون سفر
د مثال په توګه په شانډونګ کې د ZHHIMG هوښیار تولیدي اډې په پام کې نیولو سره، د خام ګرانایټ یوه ټوټه باید تیر شي:
الټرا دقیق ماشین کول: د پنځه محورونو د نښلولو ماشین کولو مرکز د 200 ساعتونو دوامداره ملنګ لپاره، د سطحې ناهموارۍ تر Ra0.008μm پورې
د مصنوعي عمر درملنه: د تودوخې او رطوبت په دوامداره ورکشاپ کې د طبیعي فشار خوشې کول 48 ساعته، کوم چې د محصول ثبات 40٪ ته وده ورکوي.
دوهم، د سیمیکمډکټر تولید "راک حل" شپږ دقیقې ستونزې حل کړئ
۲.۱ د ویفر ټوټې کولو کچه کمولو سکیم
د قضیې مظاهره: وروسته له هغه چې په جرمني کې د چپ فاونډري زموږ د ګازو لامبو وهونکي ګرانایټ پلیټ فارم غوره کړ:
| د ویفر قطر | د چپ نرخ کمول | د هوارۍ ښه والی |
| ۱۲ انچه | ۶۷٪ | ≤0.001 ملي میتر |
| ۱۸ انچه | ۸۲٪ | ≤0.0005 ملي میتر |
۲.۲ د لیتوګرافیک سمون دقت د پرمختګ سکیم
د تودوخې د جبران سیسټم: د سیرامیک سینسر ځای پر ځای شوی د شکل متغیر په ریښتیني وخت کې څارنه کوي او په اتوماتيک ډول د پلیټ فارم تمایل تنظیموي.
اندازه شوي معلومات: د 28 ℃ ± 5 ℃ د بدلون لاندې، د سرایت کولو دقت له 0.12μm څخه کم بدلون مومي
د پوسټ وخت: مارچ-۲۴-۲۰۲۵