د ګرانایټ پلیټ فارم، د دقیق اندازه کولو او پروسس کولو لپاره د حوالې وسیلې په توګه، د هغې دقت ساتنه په مستقیم ډول د تولید کیفیت اغیزه کوي. لاندې د چاپیریال کنټرول، ورځني ساتنه او مسلکي کیلیبریشن پوښښ لپاره د منظم ساتنې پلان چمتو کوي ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې پلیټ فارم د اوږدې مودې لپاره د نانومیټر کچې دقت ساتي.
۱. د چاپیریال کنټرول: د ساتنې دقیق خنډ جوړ کړئ
د تودوخې او رطوبت مدیریت
د کاري چاپیریال تودوخه باید په 20±1℃ کې ثبات شي. د 1℃ هر بدلون به د 0.5-1μm/m په سرعت سره د ګرانایټ پلیټ فارم د تودوخې خرابوالي لامل شي. په ورکشاپ کې د تودوخې یو ثابت سیسټم نصب کیدی شي ترڅو د هوایی کنډیشن سایټونه په مستقیم ډول پلیټ فارم ته د رسیدو مخه ونیسي.
رطوبت باید د 40٪ او 60٪ ترمنځ کنټرول شي. ډیر رطوبت کولی شي په اسانۍ سره په فلزي برخو کې زنګ ووهي، پداسې حال کې چې ډیر ټیټ رطوبت ممکن په اندازه کولو کې د جامد بریښنا مداخله رامینځته کړي.
د وایبریشن جلا کول
پلیټ فارم باید د وایبریشن سرچینو لکه سټمپینګ ماشینونو او ملنګ ماشینونو څخه لرې وساتل شي. سپارښتنه کیږي چې د وایبریشن تجهیزاتو څخه د 3 مترو څخه ډیر واټن وساتئ.
که چیرې د وایبریشن مخه ونه نیول شي، نو د پلیټ فارم په ښکته برخه کې د هوا پسرلي شاک جذبونکي نصب کیدی شي ترڅو د پلیټ فارم په فلیټنس باندې د چاپیریال وایبریشن اغیز کم کړي (کوم چې کولی شي بهرنۍ وایبریشن له 80٪ څخه ډیر کم کړي).
۲. ورځنۍ ساتنه: له پاکولو څخه تر ساتنې پورې دقیق کنټرول
د سطحې پاکولو مشخصات
د دوړو لرې کول: هره ورځ سطحه د هوسۍ پوستکي یا د لینټ فری ټوکر سره په ورته لوري پاک کړئ ترڅو د دوړو ذرات (≥5μm) د پلیټ فارم د خارښت مخه ونیسي. ضد داغونه په نرمۍ سره د غیر هایدروس ایتانول (پاکوالي ≥99.7٪) سره پاک کیدی شي. قوي محلولونه لکه اسیټون باید ونه کارول شي.
د غوړولو کمولو وسیله: که چیرې دا د تیلو داغونو سره په تماس کې راشي، نو د یو منحل شوي بې طرفه کلینر سره یې پاک کړئ، بیا یې د ډیونیز شوي اوبو سره مینځل او په هوا کې وچ کړئ ترڅو د پلیټ فارم کوچنیو سوریو ته د معدني تیلو د ننوتلو مخه ونیسي.
د بار او ټکر ساتنه
د پلیټ فارم د بار وړلو ظرفیت باید د ټاکل شوي بار 70٪ دننه کنټرول شي (د مثال په توګه، د 1000kg پلیټ فارم لپاره، سپارښتنه کیږي چې بار ≤700kg وي) ترڅو د ځایی ډیر بار له امله د دایمي خرابوالي مخه ونیول شي.
په پلیټ فارم باندې د کاري ټوټو وهل په کلکه منع دي. کله چې وسایلو ته لاس اچوئ، نرم دستکشې واغوندئ ترڅو تیز شیان د سطحې د سکریچ کولو مخه ونیسي (د 20μm څخه ډیر ژوروالی سره سکریچونه به د منعکس شوي رڼا لارې اندازه کولو باندې اغیزه وکړي).
۳. مسلکي کیلیبریشن: د ساینسي پلوه دقت ساتلو اساس
د کیلیبریشن دورې تنظیم کول
د کارولو دودیز سناریوګانې: په هره ربع کې یو ځل کیلیبریټ کړئ او د لیزر انټرفیرومیټر څخه کار واخلئ ترڅو فلیټنس معلوم کړئ (د ±0.5μm/m دقت سره).
د لوړې فریکونسۍ کارول یا سخت چاپیریالونه: میاشتنی کیلیبریشن، د تودوخې حساسو سیمو (لکه د تودوخې سرچینو ته نږدې د پلیټ فارم څنډه) څارنې باندې تمرکز سره.
د کیلیبریشن وروسته پروسس کول
که چیرې د فلیټنس انحراف وموندل شي (لکه > ±1μm/m)، دا باید د مسلکي تخنیکین لخوا د W1.5 مایکرو پوډر په کارولو سره مینځل او ترمیم شي. د شګو کاغذ سره ځان پیس کول په کلکه منع دي.
د کیلیبریشن وروسته، معلومات باید ثبت او آرشیف شي، او د پلیټ فارم دقت کمولو منحنی باید رامینځته شي ترڅو د ساتنې اړتیاوې دمخه وړاندوینه شي.
۴. ذخیره کول او ترانسپورت: د پټ دقت له لاسه ورکولو څخه مخنیوی وکړئ
د اوږدې مودې ذخیره کولو لپاره مهم ټکي
د ذخیره کولو پر مهال، دا باید د رطوبت او دوړو ضد پوښ سره پوښل شي. ښکته برخه باید د دریو نقطو لخوا ملاتړ شي (د ملاتړ نقطه د پلیټ فارم د اوږدوالي په 2/9 کې موقعیت لري) ترڅو د جاذبې له امله رامینځته شوي د خمیدو مخه ونیسي (د 1 متره پلیټ فارم ممکن د اوږدې مودې واحد نقطې ملاتړ له امله 0.3μm ښکته شي).
د پلیټ فارم د ملاتړ نقطو موقعیت په منظم ډول (میاشتني) حرکت ورکړئ ترڅو د اوږدمهاله محلي فشار څخه مخنیوی وشي.
د ترانسپورت د ساتنې پلان
د لنډ واټن ترانسپورت: د شاک جذبونکي فوم سره وتړئ، په یوه سخت چوکاټ کې یې ټینګ کړئ، او سرعت یې د 2g دننه وساتئ.
د اوږد واټن ترانسپورت: دا باید په ویکیوم پیک شي او د وچ نایتروجن څخه ډک شي. د رسیدو وروسته، دا باید د 24 ساعتونو لپاره پریښودل شي تر هغه چې تودوخه توازن ته ورسیږي مخکې لدې چې خلاص شي ترڅو د کنډیشن اوبه د دقت اغیزه ونکړي.
۵. د غلطۍ وړاندوینه: د لومړنیو ستونزو د پیژندلو تخنیکونه
بصري معاینه: په منظم ډول د 40x لوی شیشې سره سطحه وګورئ. که چیرې دوامداره سکریچونه یا په چمک کې د پام وړ کمښت وموندل شي، نو دا ممکن د دقت کمښت په ګوته کړي.
د غږ کشف: په نرمۍ سره پلیټ فارم ټایپ کړئ. که غږ دروند شي (معمولا باید روښانه غږ وي)، ممکن دننه مایکرو درزونه وي. د کشف لپاره یې سمدلاسه کارول ودروئ.
د دې ساتنې سیسټم له لارې، د ZHHIMG® ګرانایټ پلیټ فارم کولی شي د 10 کلونو لپاره د ±1μm/m فلیټنس وساتي، کوم چې د هغو پلیټ فارمونو د دقیق ژوند په پرتله درې ځله ډیر اوږد دی چې په سمه توګه نه ساتل کیږي. تمرین ثابته کړې چې وروسته له هغه چې یو ځانګړي سیمیکمډکټر فابریکې دا حل غوره کړ، د پلیټ فارم کیلیبریشن فریکونسي 50٪ کمه شوه، او د کلني ساتنې لګښت له 150,000 یوانو څخه ډیر خوندي شو.
د پوسټ وخت: جون-۱۸-۲۰۲۵