په سیمیکمډکټر صنعت کې، چیرې چې یو مایکرون د لوړ حاصل لرونکي بیچ او ګران ناکامۍ ترمنځ توپیر کیدی شي، د میټرولوژي موادو انتخاب خورا مهم دی. لکه څنګه چې لیتوګرافي او ویفر تفتیش د فزیک سرحدونه لوړوي، دودیز فلزات او حتی د لوړې درجې ګرانایټ خپلو حدونو ته رسیږي.
د ایلومینا سیرامیک (Al2O3) د سیمیکمډکټر تجهیزاتو جوړونکو لپاره د حتمي حل په توګه راڅرګند شوی دی. د دقیق ساتلو مودې سره چې کولی شي د 10 کلونو څخه ډیر دودیز توکي تیر کړي، سیرامیک نور عیش و آرام نه دي - دوی یو ساختماني اړتیا ده.
ولې د سیمیکمډکټرونو لپاره ایلومینا سیرامیک؟
مخکې له دې چې د دې موادو کارولو ته پام وشي، دا اړینه ده چې د دې موادو ځانګړی "درې ګونی ګواښ" پروفایل پوه شئ:
-
د تودوخې ثبات: د تودوخې د پراختیا ټیټ ضریب (≈7 × 10^{-6}/K) ډاډ ورکوي چې اندازه کول د لوړ سرعت تجهیزاتو لخوا تولید شوي تودوخې سره سره ثابت پاتې کیږي.
-
غیر مقناطیسي او غیر کنډکټیو: د ویکیوم چاپیریال او حساس الکترون بیم لیتوګرافي لپاره اړین دی چیرې چې مقناطیسي مداخله کولی شي بیمونه منحرف کړي.
-
صفر زنګ وهل: د فولادو برعکس، سیرامیکونه په کیمیاوي لحاظ غیر فعال دي، چې دوی د پاک خونې پاکولو پروتوکولونو او د زنګ وهونکي ګاز چاپیریال سره مطابقت لري.
په سیمیکمډکټر تجهیزاتو کې 5 کلیدي غوښتنلیکونه
۱. د لیتوګرافي ماشین مرحلې
عصري فوتولیتوګرافي د نانومیټر په کچه موقعیت ته اړتیا لري. د سیرامیک مربعونه او ساختماني برخې د ویفر مرحلې لپاره د "ماسټر ریفرنس" په توګه کار کوي. د دوی لوړ سختۍ او وزن تناسب د درنو موادو سره تړلي وایبریشن یا "رنګینګ" پرته د ګړندي سرعت لپاره اجازه ورکوي.
۲. د ویفر تفتیش او میټرولوژي
په ویفر جیومیټري سیسټمونو کې، د سیرامیک ماسټر مربعونه د سکین کولو محورونو د عمودي او مستقیموالي کیلیبریټ کولو لپاره کارول کیږي. ځکه چې سیرامیک د یوې لسیزې په اوږدو کې خپل شکل ساتي، دا ماشینونه د بیا کیلیبریشن دورې ته اړتیا لري، چې د فیب لپاره د وخت اعظمي کوي.
3. د ویکیوم چیمبرونو دقیق مجلس
د سیمیکمډکټر اسمبلۍ ډیری وختونه په ویکیوم چاپیریال کې ترسره کیږي چیرې چې غوړول محدود وي. د سیرامیک ګیجونه د "وچ" دقیق حواله چمتو کوي چې خلا به بهر نه کړي یا ککړ نه کړي، ډاډ ترلاسه کوي چې داخلي برخې د فرعي مایکرون زغم سره سمون لري.
۴. د لوړې فریکونسۍ الکترونیکي ازموینه
د لوړ سرعت چپ ازموینې لپاره، د اندازه کولو وسیلې څخه هر ډول مقناطیسي یا چلونکي مداخله کولی شي پایلې خرابې کړي. د الومینا سیرامیک غیر مقناطیسي طبیعت دا د پروب کارت فکسچرونو او سمون ګیجونو لپاره مثالی مواد ګرځوي.
۵. د پاکې خونې د کیلیبریشن ماسټران
د ISO کلاس 1 پاکو خونو کې، زنګ یو منع شوی ککړونکی دی. د فولادو ګیجونه د اکسیډیشن مخنیوي لپاره د تیلو فلمونو ته اړتیا لري، کوم چې د ککړتیا لوی خطر دی. سیرامیک ګیجونه هیڅ تیلو ته اړتیا نلري او د ایزوپروپیل الکول سره پاک کیدی شي، د 10+ کلونو لپاره د "صفر ذراتو" پروفایل ساتي.
د "لس کلنې ګټې"
پداسې حال کې چې د فلزي ګیجونه ممکن د څو کلونو سخت کارونې وروسته تاو شي یا خراب شي، د لوړ پاکوالي الومینا مالیکولي جوړښت په یقیني ډول مستحکم دی. کله چې د سیرامیک مربع یا مستقیم څنډې په توګه کارول کیږي، د موادو سختۍ (د نیلم سره نږدې) د مایکروسکوپي سطحې تخریب مخه نیسي چې معمولا د وخت په تیریدو سره دقت "غورځیدل" لامل کیږي.
د سیمیکمډکټر OEM لپاره، دا د اوږدې مودې ساتنې لګښتونو کې 10 ځله کمښت او د ماشین د ژوند دقت په اړه د باور لوړه کچه معنی لري.
د پوسټ وخت: مارچ-۲۳-۲۰۲۶